[实用新型]用于磁控溅射镀膜机的隔断装置及磁控溅射镀膜机

说明书

本实用新型公开一种用于磁控溅射镀膜机的隔断装置及磁控溅射镀膜机，用于磁控溅射镀膜机的隔断装置包括隔断本体，所述隔断本体设置在所述磁控溅射镀膜机的前处理室和镀膜室之间并用于关闭密封或开启，所述用于磁控溅射镀膜机的隔断装置还包括驱动机构，所述驱动机构与所述隔断本体连接，以驱动所述隔断本体进行上下移动。本实用新型提供的隔断装置能够有效提升其兼容性。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜配件领域，尤其涉及一种用于磁控溅射镀膜机的隔断装置及磁控溅射镀膜机。

背景技术

一般在连续式的真空镀膜设备中，由于各个腔体的功能有所不同，其所需要的真空度亦有所差异，因此腔体与腔体之间需要架设插板阀，用于将腔体隔开，避免各腔体在作业时产生相互干扰的情形。由于镀膜过程必须在真空环境下进行，因此该插板阀的阀门板必须紧闭、密合，否则一旦有真空度不佳的现象发生，镀膜过程势必发生瑕疵而造成整批工件良品率不足的缺陷。而在现有的真空镀膜设备中相邻两工室之间的连通处往往只适配一种插板阀，而在又多个不同高度或不同型号的工室之间往往需要多个不同型号的插板阀，导致需要配备多种不同的插板阀，从而会提高成本。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种用于磁控溅射镀膜机的隔断装置及磁控溅射镀膜机，旨在解决现有的插板阀只适配一种应用场景的问题。

为实现上述目的，本实用新型提出的一种用于磁控溅射镀膜机的隔断装置包括隔断本体，所述隔断本体设置在所述磁控溅射镀膜机的前处理室和镀膜室之间并用于关闭密封或开启，所述用于磁控溅射镀膜机的隔断装置还包括驱动机构，所述驱动机构与所述隔断本体连接，以驱动所述隔断本体进行上下移动。

在一实施例中，所述隔断本体包括阀体、阀门以及驱动电机，所述阀体上开设有通孔，所述通孔将所述前处理室和所述镀膜室连通，所述阀门设置在所述通孔处并与所述驱动电机连接，以使所述驱动电机驱动所述阀门关闭或开启所述通孔。

在一实施例中，所述隔断本体还包括连接部，所述连接部设置在所述阀体的顶部并与所述驱动机构连接。

在一实施例中，所述驱动机构包括两个驱动单元，两个所述驱动单元分设在所述阀体的两侧并均与所述阀体连接。

在一实施例中，所述驱动单元包括驱动本体以及输出轴，所述输出轴与所述连接部连接，所述驱动本体与所述输出轴连接以驱动所述输出轴沿其自身延伸方向延伸。

在一实施例中，所述驱动机构还包括套装在所述输出轴外侧并与所述输出轴连接的保护壳，所述保护壳与所述连接部的侧面连接。

在一实施例中，所述驱动机构还包括连接板，所述连接板设置在所述驱动本体与所述阀体之间，所述连接板的两侧分别和所述驱动本体和所述阀体相面对的壁面连接。

在一实施例中，所述用于磁控溅射镀膜机的隔断装置还包括多个连接筋条，所述连接筋条的一端连接在所述连接部上，所述连接筋条的另一端连接在所述阀体上。

另外，本实用新型还提供一种磁控溅射镀膜机，所述磁控溅射镀膜机包括至少一个前处理室、至少一个镀膜室以及至少一个如上所述的用于磁控溅射镀膜机的隔断装置，所述隔断装置设置在所述前处理室和所述镀膜室之间。

本实用新型的技术方案中，通过将隔断本体设置在磁控溅射镀膜机的前处理室和镀膜室之间，从而可以通过隔断本体将前处理室和镀膜室进行隔断密封或进行开启连通，另外，该隔断装置还包括与隔断本体连接的驱动机构，驱动机构能够驱动隔断本体进行上下移动，从而使得隔断本体的最顶端与地面的距离可以进行调节，使得隔断本体能够适配不同的前处理室和镀膜室的配合，因此能够提高隔断本体的兼容性，使得该隔断装置能够用于多种不同高度或不同型号的工室之间。

附图说明