[实用新型]扩散泵

说明书

本实用新型提供一种扩散泵，包括：壳体；冷却装置；泵芯，在泵芯的不同高度上开设有多个喷嘴；喷嘴与泵芯之间的呈40度～70度夹角；喷嘴的外壁上开设有沿喷嘴长度方向的滑槽；转动组件，包括通过滑块设置在滑槽上的连接件和设置在连接件上的叶片；加热装置。本实用新型所述的扩散泵具有喷嘴喷射出的气流扩散性好，扩散泵的抽吸力和极限真空度好的优点。

技术领域

本实用新型涉及真空泵领域，且特别涉及一种扩散泵。

背景技术

真空扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，扩散泵主要由泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统等部分组成，在前级真空泵所形成的低真空条件下，蒸发系统使泵油沸腾蒸发，生成的蒸气以极高速度通过喷射系统喷出，使泵内上部的气体分子扩散到蒸气中，通过冷却系统使油蒸气在泵下部被冷凝，释放出的气体分子，即被前级泵抽走，而冷凝后的泵油又返回到蒸发系统中重新被加热，如此循环工作达到抽气的目的。现有扩散泵的喷嘴是固定不动的伞帽形扩散喷嘴，蒸气从喷嘴喷出后形成稳定的伞状气流，依靠扩散运动使被抽取的空气分子进入蒸气流中，其不足之处是蒸气与空气的接触面小、结合方式被动、抽取力小、抽真空效率低、极限真空低和返油率高等。

实用新型内容

为了解决至少部分上述技术问题，本实用新型提供一种扩散泵，其包括：

具有中空结构的壳体；

设置在所述壳体外部的冷却装置；

设置在所述中空结构中的泵芯；

设置在所述泵芯的不同高度上的多个喷嘴；所述喷嘴与所述泵芯之间的呈40度～70度夹角；所述喷嘴的外壁上开设有沿所述喷嘴长度方向的滑槽；

转动组件，所述转动组件包括通过滑块设置在所述滑槽上的连接件和设置在所述连接件上的叶片；所述连接件为圆台体，所述连接件上开设有通孔，所述滑块固定在所述通孔内壁上，所述滑块位于所述连接件的小头端；所述连接件的大头端的外壁上开设圆周凹槽；所述叶片能转动的设置在所述圆周凹槽中；

设置在所述中空结构中的加热装置；

驱动装置，其驱动所述叶片在所述圆周凹槽中圆周转动；

其中，所述喷嘴制作工艺为冲压工艺。

在某些实施方式中，所述的扩散泵中，位于不同高度的所述喷嘴与所述泵芯之间的夹角不同；在竖直方向上，从上至下，所述喷嘴与所述泵芯之间的夹角逐渐增加。

在某些实施方式中，所述的扩散泵中，在竖直方向上，从上至下，所述喷嘴的出口端与所述壳体内壁之间的距离逐渐增加。

在某些实施方式中，所述的扩散泵中，所述叶片上开设多个通气孔。

在某些实施方式中，所述的扩散泵中，所述通气孔的直径不相等。

在某些实施方式中，所述的扩散泵中，所述加热装置包括设置在所述泵芯下部的第一加热部和设置在所述泵芯中的第二加热部。

在某些实施方式中，所述的扩散泵中，所述第二加热部为加热棒，其一端位于所述泵芯的下部，所述第二加热部的另一端邻近所述泵芯顶部。

在某些实施方式中，所述的扩散泵中，从下至上，所述第二加热部的直径逐渐减小。

在某些实施方式中，所述的扩散泵中，所述第二加热部包括相互独立工作多个加热子件，多个所述加热子件从下至上相叠设置。

在某些实施方式中，所述的扩散泵中，该扩散泵还包括温度传感器和控制器；

所述温度传感器用于检测不同高度处所述喷嘴喷出的蒸气的温度值；

所述控制器根据所述温度值控制所述加热子件工作。