[实用新型]负性光刻胶自动取样装置

权利要求书

1.负性光刻胶自动取样装置，包括主筒（1），其特征在于：所述主筒（1）的底端固定连通有副筒（2），所述副筒（2）的底端固定安装有吸盘（7），所述副筒（2）的外侧面固定套（6）接有固定套（6），所述固定套（6）的底端等角度固定安装有固定杆（8），所述固定杆（8）的底端活动套接有活动杆（9），所述活动杆（9）的底端固定安装有底座（11），所述活动杆（9）的顶端固定安装有位于固定杆（8）内部的缓冲弹簧（10），所述缓冲弹簧（10）的顶端与固定杆（8）内腔的顶端固定连接。

2.根据权利要求1所述的负性光刻胶自动取样装置，其特征在于：所述副筒（2）的内部活动套接有活塞板（3），所述活塞板（3）的顶端固定安装有连接杆（4），所述连接杆（4）的顶端贯穿主筒（1）的顶端且固定安装有螺纹杆（12），所述活塞板（3）的直径与副筒（2）的内径相同。

3.根据权利要求2所述的负性光刻胶自动取样装置，其特征在于：所述连接杆（4）的外侧面活动套接有复位弹簧（5），所述复位弹簧（5）的上下两端分别与副筒（2）的底端和主筒（1）的顶端固定连接，所述主筒（1）的一侧固定安装有安装座（17）。

4.根据权利要求2所述的负性光刻胶自动取样装置，其特征在于：所述螺纹杆（12）的外侧面螺纹套（14）接有螺纹套（14），所述螺纹套（14）的外侧面固定套（6）接有副齿轮（15）。

5.根据权利要求3所述的负性光刻胶自动取样装置，其特征在于：所述螺纹杆（12）的顶端固定安装有限位杆（13），所述安装座（17）的一端固定安装有电机（18），所述电机（18）输出轴的顶端固定安装有传动轴（19）。

6.根据权利要求5所述的负性光刻胶自动取样装置，其特征在于：所述传动轴（19）的外侧面固定套接有主齿轮（16），所述主齿轮（16）与副齿轮（15）啮合连接，所述电机（18）通过传动轴（19）和主齿轮（16）与副齿轮（15）传动连接。