[实用新型]一种光斑可视化精密狭缝装置有效
| 申请号： | 202022584668.9 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN213658613U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 黄耀波;朱大明;吴佳兴;计展;赵雁;王勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海高等研究院 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 201210 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光斑 可视化 精密 狭缝 装置 | ||
1.一种光斑可视化精密狭缝装置，其特征在于，包括：
真空腔体，设有法兰视窗和法兰接口；
狭缝装置，设于所述真空腔体的内部；
观测装置，用于观测狭缝装置，设于所述真空腔体的外部，并与所述法兰视窗相连；
精密运动装置，与所述法兰接口相连，并具有延伸进所述真空腔体内部的连接杆，所述连接杆与所述狭缝装置相连；
角度调节装置，设于所述真空腔体的外部，并通过一连接件与所述真空腔体连接。
2.根据权利要求1所述的光斑可视化精密狭缝装置，其特征在于，所述狭缝装置包括两个在垂直方向上相对设置的第一狭缝刀片和第二狭缝刀片，以及两个在水平方向上相对设置的第三狭缝刀片和第四狭缝刀片，所述第一、第二、第三和第四狭缝刀片分别与四个连接杆相连。
3.根据权利要求2所述的光斑可视化精密狭缝装置，其特征在于，所述狭缝刀片与所述连接杆之间设有绝缘面。
4.根据权利要求2所述的光斑可视化精密狭缝装置，其特征在于，所述第一狭缝刀片位于所述狭缝装置中X射线光路的最前端。
5.根据权利要求4所述的光斑可视化精密狭缝装置，其特征在于，所述第一狭缝刀片上通过绝缘紧固件安装有一荧光晶体。
6.根据权利要求5所述的光斑可视化精密狭缝装置，其特征在于，所述荧光晶体与所述第一狭缝刀片的刀口边缘相隔的距离小于2mm。
7.根据权利要求5所述的光斑可视化精密狭缝装置，其特征在于，所述荧光晶体为YAG晶体。
8.根据权利要求5所述的光斑可视化精密狭缝装置，其特征在于，所述观测装置包括摄像头以及摄像头焦距位置调节装置，所述摄像头通过所述法兰视窗正对所述荧光晶体。
9.根据权利要求8所述的光斑可视化精密狭缝装置，其特征在于，所述荧光晶体所产生的X射线荧光位置在所述摄像头的焦距及焦平面范围内。
10.根据权利要求1所述的光斑可视化精密狭缝装置，其特征在于，所述真空腔体的静态真空度优于5×10-10Torr。
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