[实用新型]一种离子注入机用冷却系统有效
| 申请号： | 202022584884.3 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN213635897U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈维 | 申请（专利权）人： | 无锡凯世通科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/02 |
| 代理公司： | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人： | 刘锦霞 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区硕放新3*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 冷却系统 | ||
1.一种离子注入机用冷却系统，包括离子注入机本体（1），其特征在于：所述离子注入机本体（1）的底端固定连接有冷却箱（2），所述冷却箱（2）内壁的底部开设有集水槽（4），所述集水槽（4）内壁底端的两侧均固定连接有旋转水车（5），两个所述旋转水车（5）摆臂的外侧均与十字转轴（6）外壁的一侧滑动连接，所述十字转轴（6）顶端的中间位置与转轴柱（7）的底端固定连接，所述转轴柱（7）外壁的顶端与圆盘支座（8）的内壁穿插连接，所述圆盘支座（8）外壁的两端均固定连接有方形扇叶（9）。
2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用冷却系统，其特征在于：所述转轴柱（7）顶端的中心轴处固定连接有传动柱（11），所述传动柱（11）顶端的中心轴处固定连接有传动壁（12）。
3.根据权利要求1所述的一种离子注入机用冷却系统，其特征在于：所述冷却箱（2）顶端的一侧固定连接有伺服电机（14），所述伺服电机（14）的输出端通过传动带（13）与传动壁（12）传动连接。
4.根据权利要求3所述的一种离子注入机用冷却系统，其特征在于：所述伺服电机（14）与离子注入机本体（1）电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种离子注入机用冷却系统，其特征在于：所述冷却箱（2）内壁的中间固定连接有集水板（15），所述集水板（15）顶端的中间与转轴柱（7）外壁的中间转动连接。
6.根据权利要求1所述的一种离子注入机用冷却系统，其特征在于：所述冷却箱（2）顶端的中间开设有圆形槽（10）。
7.根据权利要求1所述的一种离子注入机用冷却系统，其特征在于：所述冷却箱（2）的一侧中间位置开设有进水口（3）。
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