[实用新型]一种离子注入机用放电室

说明书

本实用新型涉及煤矸石处理技术领域，且公开了一种离子注入机用放电室，包括箱体，所述箱体的顶端固定设有顶箱，所述顶箱的一侧与进风管的外壁穿插连接，所述进风管的一端与热风机的进风口连通，所述热风机的出风口与出风管的一端连通，所述热风机的底端固定设置在顶箱内部的一侧，本实用新型通过设有顶箱，进风管的外壁与顶箱一侧穿插连接，进风管一端和热风机进风口连通，热风机出风口和出风管一端连通，顶箱内部顶端固定设有风扇，顶箱内部底端开设有多个第一通孔，通过这种方式，在热风机和风扇共同作用下，将箱体内部潮湿的空气排出箱体，防止箱体内部湿气对箱体内部电子元件造成影响，从而保护箱体内部电子元件，增加电子元件使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及离子注入机领域，具体为一种离子注入机用放电室。

背景技术

在集成电路制造前工序中，离子注入机是其中的关键设备，半导体表面附近区域通过离子注入进行掺杂的技术，目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。

在现有生活中，由于工作人员经常打开注入机放电室箱门，有时会因为天气潮湿，导致箱体内部聚集大量的水汽，而空气中大量的水汽会对箱体内部电子元件造成影响，使得电子元件短路甚至损坏，电子元件长时间处在潮湿的环境中会大大缩短使用寿命。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种离子注入机用放电室，具有可以去除箱体内部的水汽优点，解决了箱体内部存在大量水汽影响电子元件的问题。

（二）技术方案

为实现上述去除箱体内部水汽的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入机用放电室，包括箱体，所述箱体的顶端固定设有顶箱，所述顶箱的一侧与进风管的外壁穿插连接，所述进风管的一端与热风机的进风口连通，所述热风机的出风口与出风管的一端连通，所述热风机的底端固定设置在顶箱内部的一侧，所述顶箱内部的另一侧开设有多个第一通孔，所述顶箱内部的顶端固定设有风扇。

优选的，所述箱体内部底端的两侧均开设有开槽，两个开槽分别与两个移动块的外壁穿插连接，两个所述移动块的底端分别固定设有两个弹簧，两个所述弹簧的底端分别固定设置在开槽的底端，两个所述移动块的一侧分别转动设有两个卡块，两个所述卡块的外壁分别和两个通槽穿插连接，两个所述卡块分别和两个卡槽卡合连接，两个所述卡槽分别开设在放置板顶端的两个边侧。

优选的，所述箱体内部底端的中部开设有放置槽，所述放置槽的两侧均固定设有两个固定块，两个所述固定块的顶端分别和放置板底端的两侧接触。

优选的，所述放置板顶端的两侧开设有多个第二通孔，所述放置板顶端的中部固定设有握杆。

优选的，所述箱体的一侧转动设有四个箱门，四个所述箱门的一侧分别固定设有四个拉手，所述箱体的一边侧开设有通风口。

优选的，所述箱体的另一边侧固定设有控制面板，所述控制面板的表面固定设有热风机开关和风扇开关，所述热风机和风扇分别通过热风机开关和风扇开关与外接电源电性连接。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种离子注入机用放电室，具备以下有益效果：

1、该离子注入机用放电室，通过设有顶箱，进风管的外壁与顶箱一侧穿插连接，进风管一端和热风机进风口连通，热风机出风口和出风管一端连通，顶箱内部顶端固定设有风扇，顶箱内部底端开设有多个第一通孔，通过这种方式，在热风机和风扇共同作用下，将箱体内部潮湿的空气排出箱体，防止箱体内部湿气对箱体内部电子元件造成影响，从而保护箱体内部电子元件，增加电子元件使用寿命。