[实用新型]一种全自动上下膜一体机

说明书

本实用新型公开一种全自动上下膜一体机，包括机架，机架由晶圆物料的加工顺序依次设置上料组件、条形取料机构、第一转盘、晶圆数量检测机构、脱模机构、第二转盘、贴膜机构、离型纸上料机构和成品处理组件；上料组件设置在机架右侧，晶圆物料盛放在所述上料组件内，所述上料组件和所述第一转盘之间设置有转移晶圆物料的条形取料机构；第一转盘的设置高度高于第二转盘的设置高度，第一转盘左侧的加工工位与第二转盘右侧的加工工位上下重合，脱模机构设置于第一转盘和第二转盘重合的加工工位上；机架上还设有蓝膜组件，所述蓝膜组件设置在第一转盘后侧；所述条形取料机构前侧设置有回收机构。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件生产技术领域，特别涉及一种全自动上下膜一体机。

背景技术

通常将晶圆电路面，即完成芯片功能的那一面称为正面，另外一面即为背面。晶圆加工过程中，为各种用途，常需要在晶圆表面贴一层薄膜(蓝膜)。有一种薄膜是为了在切割晶圆时保护晶圆的，称为切割膜，切割膜贴覆在晶圆正面或反面。有的薄膜是在其它工序中起保护作用。晶圆切割时需要使用框架(铁环)，框架为中间设置通孔的不锈钢片。晶圆位于框架通孔内，两者粘贴在同一张薄膜上。为晶圆贴切割膜时，需要将晶圆和框架一同贴到切割膜上。框架和切割膜(蓝膜)共同起保护晶圆作用。

在生产加工中，需要将框架与晶圆、蓝膜分离，分离的框架需要重新贴上一层蓝膜，而分离出的晶圆和蓝膜需要进行其他的加工步骤的处理。

申请号为CN201010603994.8的中国专利，提出了晶圆贴膜方法及晶圆贴膜装置，设计出了向晶圆与台盘之间吹入气体，利用吹入的气体支撑晶圆，然后在晶圆表面贴膜。

申请号为CN201811156627.0的中国专利，提出了晶圆撕膜机，设计了一种晶圆撕膜机的具体结构。

其均未提出一种晶圆贴膜撕膜全流程的机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种全自动上下膜一体机，克服上述缺陷，提出一种步骤全面的上下膜一体机。

为达成上述目的，本实用新型的解决方案为：一种全自动上下膜一体机，包括机架，机架由晶圆物料的加工顺序依次设置上料组件、条形取料机构、第一转盘、晶圆数量检测机构、脱模机构、第二转盘、贴膜机构、离型纸上料机构和成品处理组件；上料组件设置在机架右侧，晶圆物料盛放在所述上料组件内，所述上料组件和所述第一转盘之间设置有转移晶圆物料的条形取料机构；晶圆数量检测机构设置在第一转盘前侧，

第一转盘的设置高度高于第二转盘的设置高度，第一转盘左侧的加工工位与第二转盘右侧的加工工位上下重合，脱模机构设置于第一转盘和第二转盘重合的加工工位上；机架上还设有蓝膜组件，所述蓝膜组件设置在第一转盘后侧；

贴膜机构设置在第二转盘前侧，离型纸上料机构设置在第二转盘左侧，成品处理组件设置在第二转盘后侧；所述条形取料机构前侧设置有回收机构。

优选的，所述上料组件包括多层传送料架、提升机构和卡塞抓取机构，所述多层传送料架设置在机架右侧的后部，所述提升机构设置在机架右侧的中部，所述卡塞抓取机构设置在提升机构上，所述晶圆物料放置在多层传送料架内，所述提升机构调整卡塞抓取机构的高度，使卡塞抓取机构与多层传送料架中不同高度的料架平齐。

优选的，所述上料组件还包括CCD视觉检测机构，所述CCD视觉检测机构设置在卡塞抓取机构上。

优选的，所述条形取料机构包括物料呈座、取料安装座、条形安装板、取料吸盘和铁环上下机构，所述物料呈座和取料安装座依次设置在上料组件和第一转盘之间的机架上，取料安装座高于物料呈座，所述条形安装板通过板体中部设置在取料安装座顶部，所述条形安装板板体两端设置取料吸盘，所述铁环上下机构设置在物料呈座和取料安装座后侧，铁环上下机构带动物料呈座左右移动。