[实用新型]一种半导体配件的平磨加工工装

权利要求书

1.一种半导体配件的平磨加工工装，其特征在于，还包括底板(1)、支柱(2)、工作台(3)、第一水槽(4)、第一基座(5)、第一连接杆(6)、第二连接杆(7)、第一滑块(9)、轮轴(10)、轴承(11)、转轴(12)、打磨盘(13)和第一电机(14)，底板(1)顶端与支柱(2)底端连接，支柱(2)顶端与工作台(3)底端连接，第一水槽(4)安装在工作台(3)的顶端，第一基座(5)底端与第一水槽(4)顶端连接，第一连接杆(6)底端可旋转与第一基座(5)顶端连接，并且第一基座(5)上设置有固定阀门，固定阀门对第一连接杆(6)的旋转起固定作用，第一连接杆(6)上设置有通槽，第二连接杆(7)可上下滑动设置在第一连接杆(6)上，并且第二连接杆(7)右端设置有限位块，第二连接杆(7)的外侧壁上设置有固定旋钮(8)，并且固定旋钮(8)穿过第一连接杆(6)通槽对第二连接杆(7)进行固定，第一滑块(9)可左右滑动套装在第二连接杆(7)上，并且第一滑块(9)顶端设置有固定阀门，固定阀门对第一滑块(9)起固定左右，轮轴(10)可旋转安装在第一滑块(9)的底端，轴承(11)底端与工作台(3)顶端连接，转轴(12)可旋转设置在轴承(11)内，转轴(12)顶端与打磨盘(13)底端连接，第一电机(14)安装在工作台(3)的底端，并且第一电机(14)顶端输出端与转轴(12)底端连接。

2.如权利要求1所述的一种半导体配件的平磨加工工装，其特征在于，还包括、第二基座(15)、第三连接杆(16)、第二滑块(18)、气缸(19)、第二电机(20)和压盘(21)，第二基座(15)底端与工作台(3)顶端连接，第二基座(15)上设置有固定阀门，固定阀门对第二基座(15)的旋转起固定作用，第三连接杆(16)右端与第二基座(15)外侧壁上部连接，第三连接杆(16)顶端设置有往复机(17)，第二滑块(18)通过往复机(17)可左右滑动套装在第三连接杆(16) 外侧壁上，气缸(19)安装在第二滑块(18)的外侧壁上，气缸(19)底端输出端与第二电机(20)顶端连接，第二电机(20)底端输出端与压盘(21)顶端连接。

3.如权利要求2所述的一种半导体配件的平磨加工工装，其特征在于，还包括喷水头(22)、第二水槽(23)、水箱(24)、水泵(25)、过滤网(26)和水管(27)，喷水头(22)安装在第三连接杆(16)的底端，第二水槽(23)设置在工作台(3)上并与第一水槽(4)内相通，水箱(24)底端与底板(1)顶端连接，水箱(24)内设置有腔室，腔室顶端设置有进水口，进水口与腔室内相通，水泵(25)安装在水箱(24)外侧壁上，并且水泵(25)输入端与腔室内相通，水泵(25)输出端与喷水头(22)输入端通过软管连通，过滤网(26)的外延与水箱(24)内侧壁连接并连通设置在腔室内，水管(27)输入端与第二水槽(23)内连通，水管(27)输出端与腔室内相通。

4.如权利要求3所述的一种半导体配件的平磨加工工装，其特征在于，还包括工件槽(28)，工件槽(28)设置在打磨盘(13)的顶端。

5.如权利要求4所述的一种半导体配件的平磨加工工装，其特征在于，还包括加强件(29)，加强件(29)底端与第二基座(15)外侧壁连接，加强件(29)顶端与第三连接杆(16)底端连接。

6.如权利要求5所述的一种半导体配件的平磨加工工装，其特征在于，还包括多组支脚(30)，多组支脚(30)的顶端分别与底板(1)的底端连接。