[实用新型]一种复合隔膜结构及压电隔膜泵

权利要求书

1.一种复合隔膜结构，其特征在于：包括压电驱动器(1)、支撑框架(2)和两层柔性薄膜(3)，所述压电驱动器(1)和支撑框架(2)设置在两层柔性薄膜(3)之间，形成复合隔膜结构，所述压电驱动器(1)镶嵌在支撑框架(2)内。

2.根据权利要求1所述的复合隔膜结构，其特征在于：所述支撑框架(2)为中空的腰型支撑框架(2)，支撑框架(2)的外边缘为锯齿形结构(4)。

3.根据权利要求2所述的复合隔膜结构，其特征在于：所述压电驱动器(1)设置在腰型的支撑框架(2)的中空部分内，压电驱动器(1)的驱动电源线(5)从两层柔性薄膜(3)之间引出。

4.根据权利要求2所述的复合隔膜结构，其特征在于：腰型支撑框架(2)的长度是宽度的2倍以上，使支撑框架(2)的长度方向上弯曲强度弱，宽度方向弯曲强度高。

5.根据权利要求1所述的复合隔膜结构，其特征在于：所述柔性薄膜(3)为高分子材料制成，所述高分子材料为聚酯或者聚氨酯。

6.根据权利要求1所述的复合隔膜结构，其特征在于：所述支撑框架(2)为金属弹性材料或者非金属弹性材料制成的支撑框架(2)。

7.根据权利要求1所述的复合隔膜结构，其特征在于：所述压电驱动器(1)为压电单晶片或者压电双晶片。

8.一种压电隔膜泵，其特征在于：包括泵体(6)和权利要求1-7任一权利要求所述的复合隔膜结构，所述复合隔膜结构密封设置在泵体(6)中间，将泵体(6)分隔成两个独立的腔体(7)。