[实用新型]一种测试结构有效
申请号: | 202022591075.5 | 申请日: | 2020-11-10 |
公开(公告)号: | CN213278088U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 哀立波;任云翔;王明;韩谷昌;熊保玉 | 申请(专利权)人: | 浙江驰拓科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544 |
代理公司: | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人: | 陈晓瑜 |
地址: | 311300 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测试 结构 | ||
1.一种测试结构,其特征在于,包括:
第一底金属梳状结构;
与所述第一底金属梳状结构上下重合的第一顶金属梳状结构;
设置在所述第一底金属梳状结构及第一顶金属梳状结构的每对上下重合的两个梳齿之间且电连接该两个梳齿的n个并联的磁隧道结;
第二底金属梳状结构,所述第二底金属梳状结构的多个梳齿与所述第一底金属梳状结构的多个梳齿间隔设置;
与所述第二底金属梳状结构的多个梳齿分别上下重合的多个第二顶金属梳齿;
设置在每个第二顶金属梳齿与该第二顶金属梳齿上下重合的所述第二底金属梳状结构的一个梳齿之间的n个并联的磁隧道结,该n个磁隧道结电连接该第二顶金属梳齿及该第二底金属梳状结构的一个梳齿;
与所述第一底金属梳状结构及第一顶金属梳状结构的梳柄均电连接的第一测试电极;
与所述第二底金属梳状结构的梳柄电连接的第二测试电极。
2.如权利要求1所述的测试结构,其特征在于,还包括:
与所述第一底金属梳状结构的梳柄电连接的第一金属线;
与所述第二测试电极电连接的第二金属线,且所述第一金属线与第二金属线部分上下重合;
设置在所述第一金属线与第二金属线的重合部分之间且电连接所述第一金属线及第二金属线的待测试磁隧道结。
3.如权利要求1~2任一项所述的测试结构,其特征在于,所述第一测试电极包括:
与所述第一底金属梳状结构的梳柄电连接的第一底测试电极;
与所述第一顶金属梳状结构的梳柄电连接的第一顶测试电极,所述第一顶测试电极与所述第一底测试电极上下重合且电连接。
4.如权利要求3所述的测试结构,其特征在于,所述第二测试电极包括:
与所述第二底金属梳状结构的梳柄电连接的第二底测试电极;
与所述第二顶金属梳状结构的梳柄电连接的第二顶测试电极,且所述第二顶测试电极与所述第二底测试电极上下重合且电连接。
5.如权利要求4所述的测试结构,其特征在于,所述第一顶测试电极通过多个接触孔或多个磁隧道结与所述第一底测试电极电连接;和/或,
所述第二顶测试电极通过多个接触孔或多个磁隧道结与所述第二底测试电极电连接。
6.如权利要求1所述的测试结构,其特征在于,所述n个磁隧道结中的每个磁隧道结通过底电极与所述第一底金属梳状结构的梳齿或所述第二底金属梳状结构的梳齿电连接,通过顶电极与所述第一顶金属梳状结构的梳齿或第二顶金属梳齿电连接。
7.一种测试结构,其特征在于,包括:
第一底金属梳状结构,所述第一底金属梳状结构的梳柄还电连接有第一金属线;
与所述第一底金属梳状结构上下重合的第一顶金属梳状结构;
第二底金属梳状结构,所述第二底金属梳状结构的多个梳齿与所述第一底金属梳状结构的多个梳齿间隔设置;
与所述第二底金属梳状结构上下重合的第二顶金属梳状结构,所述第二顶金属梳状结构的梳柄还电连接有第二金属线,且所述第一金属线与第二金属线部分上下重合;
设置在所述第一金属线与第二金属线的重合部分之间且电连接所述第一金属线及第二金属线的待测试磁隧道结;
与所述第一底金属梳状结构的梳柄电连接的第一测试电极;
与所述第二底金属梳状结构的梳柄电连接的第二测试电极;
与所述第一顶金属梳状结构的梳柄电连接的第三测试电极;
与所述第二顶金属梳状结构的梳柄电连接的第四测试电极。
8.如权利要求7所述的测试结构,其特征在于,所述第一测试电极包括:
与所述第一底金属梳状结构的梳柄电连接的第一底测试电极;
与所述第一底测试电极上下重合的第一顶测试电极,且所述第一底测试电极通过多个接触孔或多个磁隧道结与所述第一顶测试电极电连接。
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