[实用新型]一种复合型多功能双面卷绕镀膜机

权利要求书

1.一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，其特征在于：包括真空容器，真空容器内设有用于卷绕薄膜基材的收放卷室，用于对薄膜基材一面进行镀膜的第一镀膜机构，用于对薄膜基材另一面进行镀膜的第二镀膜机构；第一镀膜机构包括第一镀膜辊，沿着第一镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；第二镀膜机构包括第二镀膜辊，沿着第二镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；收放卷室内设有放卷辊、第一导辊、第二导辊和收卷辊，从放卷辊出来的薄膜基材依次经过第一导辊、第一镀膜辊、第二镀膜辊、第二导辊、收卷辊，溅射镀膜区内均设有磁控靶，蒸发镀膜区内设有蒸发源。

2.根据权利要求1所述的一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，其特征在于：第一镀膜机构包括第一镀膜辊，沿着第一镀膜辊的圆周方向依次设置有第一溅射镀膜区、第一蒸发镀膜区、第二溅射镀膜区；第二镀膜机构包括第二镀膜辊，沿着第二镀膜辊的圆周方向依次设置有第三溅射镀膜区、第二蒸发镀膜区、第四溅射镀膜区。

3.根据权利要求2所述的一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，其特征在于：收放卷室和第一溅射镀膜区之间、第一溅射镀膜区和第一蒸发镀膜区之间、第一蒸发镀膜区和第二溅射镀膜区之间、第二溅射镀膜区和收放卷室之间、收放卷室和第三溅射镀膜区之间、第三溅射镀膜区和第二蒸发镀膜区之间、第二蒸发镀膜区和第四溅射镀膜区之间、第四溅射镀膜区和收放卷室之间均设置有分区隔气装置，分区隔气装置与第一镀膜辊和第二镀膜辊之间均留有供薄膜基材通过的间隙。

4.根据权利要求2所述的一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，其特征在于：收放卷室、第一溅射镀膜区、第一蒸发镀膜区、第二溅射镀膜区、第三溅射镀膜区、第二蒸发镀膜区、第四溅射镀膜区上均设有真空抽气机组。

5.根据权利要求1所述的一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，其特征在于：真空容器上设有真空测量系统。

6.根据权利要求2所述的一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，其特征在于：第一蒸发镀膜区和第二蒸发镀膜区的工作真空度为9×10^-2Pa-1×10^-3Pa。

7.根据权利要求2所述的一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，其特征在于：第一溅射镀膜区、第二溅射镀膜区、第三溅射镀膜区和第四溅射镀膜区的工作真空度为1×10^-1Pa-1Pa。

8.根据权利要求1所述的一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，其特征在于：蒸发源为电阻加热蒸发源、感应加热蒸发源、电子束加热蒸发源或条状线性蒸发源。

9.根据权利要求1所述的一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，其特征在于：磁控靶为平面磁控靶或圆柱磁控靶。

10.根据权利要求1所述的一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，其特征在于：真空容器的形状为方形、圆筒形或者其他任意形状。