[实用新型]一种方形陶瓷电阻式压力传感器

权利要求书

1.一种方形陶瓷电阻式压力传感器，其特征在于，包括：方形陶瓷基体和方形陶瓷弹性膜片，所述方形陶瓷基体粘合在所述方形陶瓷弹性膜片的下方，且所述方形陶瓷基体与所述方形陶瓷弹性膜片间设置有空腔；所述方形陶瓷弹性膜片底端设置有陶瓷弹性膜片导体线路，所述方形陶瓷基体顶端设置有陶瓷基体导体线路，所述陶瓷弹性膜片导体线路与所述陶瓷基体导体线路通过上下导通电极电连接。

2.根据权利要求1所述的一种方形陶瓷电阻式压力传感器，其特征在于，所述方形陶瓷弹性膜片底端印刷有厚膜电阻。

3.根据权利要求1所述的一种方形陶瓷电阻式压力传感器，其特征在于，所述方形陶瓷基体顶端印刷有封接玻璃，所述封接玻璃在450～550℃预烧成型，形成玻璃密封层。

4.根据权利要求1所述的一种方形陶瓷电阻式压力传感器，其特征在于，所述方形陶瓷基体顶端印刷有导体焊盘。

5.根据权利要求1所述的一种方形陶瓷电阻式压力传感器，其特征在于，所述方形陶瓷弹性膜片采用95％～99％Al₂O₃/ZrO₂陶瓷制作而成，厚度0.1～0.5mm。

6.根据权利要求1所述的一种方形陶瓷电阻式压力传感器，其特征在于，所述方形陶瓷基体采用95％～99％Al₂O₃/ZrO₂陶瓷制作而成，厚度2.0～3.0mm。

7.根据权利要求1所述的一种方形陶瓷电阻式压力传感器，其特征在于，所述陶瓷基体导体线路和所述陶瓷弹性膜片导体线路均采用金属电子浆料。