[实用新型]一种半导体芯片生产用机械手有效

专利信息
申请号: 202022598615.2 申请日: 2020-11-11
公开(公告)号: CN213278060U 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 冯小龙 申请(专利权)人: 苏州市鑫龙净化机械设备有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙) 32405 代理人: 周升铭
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 芯片 生产 机械手
【说明书】:

实用新型公开了一种半导体芯片生产用机械手,包括支撑件、支板、挤紧件和调节件,所述支撑件的顶端固定有支板,所述支板的顶端固定有挤紧件和限位件,若干个所述调节件均固定在挤紧件靠近限位件的一侧,所述挤紧件包括挡块、活动块和液压杆,所述挡块固定在支板的顶端,所述挡块朝向限位件的一侧固定有液压杆,液压杆的活塞杆贯穿限位块并与固定在活动块侧壁的套筒连接,所述活动块朝向挡块的一侧固定有两个导杆,两个所述导杆远离活动块的端部均贯穿限位块,所述调节件包括卡块、螺纹套筒和螺纹柱,所述限位件包括隔板、撑块和挡板。该半导体芯片生产用机械手,方便调节,提高了整体的稳定性。

技术领域

本实用新型属于半导体芯片生产技术领域,具体涉及一种半导体芯片生产用机械手。

背景技术

半导体芯片,在半导体片材上进行浸蚀、布线,制成的能实现某种功能的半导体器件。不只是硅芯片,常见的还包括砷化镓,(砷化镓有毒,所以一些劣质电路板不要好奇分解它)锗等半导体材料。半导体也像汽车有潮流。半导体芯片生产过程中需要利用机械手对半导体芯片进行固定,一般的机械手在使用的过程中不方便调节,影响不同规格的半导体芯片的固定。

因此针对这一现状,迫切需要设计和生产一种半导体芯片生产用机械手,以满足实际使用的需要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体芯片生产用机械手,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体芯片生产用机械手,包括支撑件、支板、挤紧件和调节件,所述支撑件的顶端固定有支板,所述支板的顶端固定有挤紧件和限位件,若干个所述调节件均固定在挤紧件靠近限位件的一侧,所述挤紧件包括挡块、活动块和液压杆,所述挡块固定在支板的顶端,所述挡块朝向限位件的一侧固定有液压杆,液压杆的活塞杆贯穿限位块并与固定在活动块侧壁的套筒连接,所述活动块朝向挡块的一侧固定有两个导杆,两个所述导杆远离活动块的端部均贯穿限位块;

所述调节件包括卡块、螺纹套筒和螺纹柱,所述螺纹柱固定在活动块远离挡块的一侧,所述螺纹柱远离挡块的一端螺纹连接有螺纹套筒,所述螺纹套筒的顶端开设有与锁紧螺栓适配的螺孔,所述锁紧螺栓的底端与螺纹柱相抵,所述螺纹套筒远离螺纹柱的一端固定有卡块,所述卡块远离螺纹套筒的一侧固定有防滑垫;

所述限位件包括隔板、撑块和挡板,所述挡板远离挡块的一侧一体成型有两个撑块,所述挡板远离撑块的一侧一体成型有若干个隔板,所述挡板远离撑块的一侧固定有若干个防护垫。

优选的,所述支撑件包括底板、支柱和液压缸,所述底板的底端的四角处均安装有刹车滚轮,所述底板的顶端的四角处均固定有支柱,相邻两个所述支柱之间均固定有连杆,所述底板的顶端的中央固定有液压缸,所述液压缸的活塞杆通过螺栓与固定在支板底端的套管连接,四个所述支柱的顶端均构造有与竖杆适配的插槽,所述支板的底端的四角处均固定有底托,四个所述底托的底端均构造有与竖杆适配的插槽,四个所述底托的侧壁均开设有与螺栓适配的螺孔,四个螺栓的端部分别与四个竖杆相抵。

优选的,四个所述底托的侧壁均一体成型有凸块,四个凸块内均开设有通孔。

优选的,所述挡块的两侧均一体成型有凸缘,两个凸缘内均开设有与连接螺栓适配的螺孔。

优选的,所述限位块的两侧均一体成型有凸起,两个凸起内均开设有两个与螺栓适配的螺孔。

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