[实用新型]一种半导体芯片生产用机械手有效
申请号: | 202022598615.2 | 申请日: | 2020-11-11 |
公开(公告)号: | CN213278060U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 冯小龙 | 申请(专利权)人: | 苏州市鑫龙净化机械设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙) 32405 | 代理人: | 周升铭 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 生产 机械手 | ||
本实用新型公开了一种半导体芯片生产用机械手,包括支撑件、支板、挤紧件和调节件,所述支撑件的顶端固定有支板,所述支板的顶端固定有挤紧件和限位件,若干个所述调节件均固定在挤紧件靠近限位件的一侧,所述挤紧件包括挡块、活动块和液压杆,所述挡块固定在支板的顶端,所述挡块朝向限位件的一侧固定有液压杆,液压杆的活塞杆贯穿限位块并与固定在活动块侧壁的套筒连接,所述活动块朝向挡块的一侧固定有两个导杆,两个所述导杆远离活动块的端部均贯穿限位块,所述调节件包括卡块、螺纹套筒和螺纹柱,所述限位件包括隔板、撑块和挡板。该半导体芯片生产用机械手,方便调节,提高了整体的稳定性。
技术领域
本实用新型属于半导体芯片生产技术领域,具体涉及一种半导体芯片生产用机械手。
背景技术
半导体芯片,在半导体片材上进行浸蚀、布线,制成的能实现某种功能的半导体器件。不只是硅芯片,常见的还包括砷化镓,(砷化镓有毒,所以一些劣质电路板不要好奇分解它)锗等半导体材料。半导体也像汽车有潮流。半导体芯片生产过程中需要利用机械手对半导体芯片进行固定,一般的机械手在使用的过程中不方便调节,影响不同规格的半导体芯片的固定。
因此针对这一现状,迫切需要设计和生产一种半导体芯片生产用机械手,以满足实际使用的需要。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体芯片生产用机械手,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体芯片生产用机械手,包括支撑件、支板、挤紧件和调节件,所述支撑件的顶端固定有支板,所述支板的顶端固定有挤紧件和限位件,若干个所述调节件均固定在挤紧件靠近限位件的一侧,所述挤紧件包括挡块、活动块和液压杆,所述挡块固定在支板的顶端,所述挡块朝向限位件的一侧固定有液压杆,液压杆的活塞杆贯穿限位块并与固定在活动块侧壁的套筒连接,所述活动块朝向挡块的一侧固定有两个导杆,两个所述导杆远离活动块的端部均贯穿限位块;
所述调节件包括卡块、螺纹套筒和螺纹柱,所述螺纹柱固定在活动块远离挡块的一侧,所述螺纹柱远离挡块的一端螺纹连接有螺纹套筒,所述螺纹套筒的顶端开设有与锁紧螺栓适配的螺孔,所述锁紧螺栓的底端与螺纹柱相抵,所述螺纹套筒远离螺纹柱的一端固定有卡块,所述卡块远离螺纹套筒的一侧固定有防滑垫;
所述限位件包括隔板、撑块和挡板,所述挡板远离挡块的一侧一体成型有两个撑块,所述挡板远离撑块的一侧一体成型有若干个隔板,所述挡板远离撑块的一侧固定有若干个防护垫。
优选的,所述支撑件包括底板、支柱和液压缸,所述底板的底端的四角处均安装有刹车滚轮,所述底板的顶端的四角处均固定有支柱,相邻两个所述支柱之间均固定有连杆,所述底板的顶端的中央固定有液压缸,所述液压缸的活塞杆通过螺栓与固定在支板底端的套管连接,四个所述支柱的顶端均构造有与竖杆适配的插槽,所述支板的底端的四角处均固定有底托,四个所述底托的底端均构造有与竖杆适配的插槽,四个所述底托的侧壁均开设有与螺栓适配的螺孔,四个螺栓的端部分别与四个竖杆相抵。
优选的,四个所述底托的侧壁均一体成型有凸块,四个凸块内均开设有通孔。
优选的,所述挡块的两侧均一体成型有凸缘,两个凸缘内均开设有与连接螺栓适配的螺孔。
优选的,所述限位块的两侧均一体成型有凸起,两个凸起内均开设有两个与螺栓适配的螺孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造