[实用新型]砂浆切削液在线回收系统

说明书

本实用新型一种砂浆切削液在线回收系统，脏液箱经泵连通至换热器一的进口，所述换热器一的出口经泵连通至电动三通阀二的一个进口，该电动三通阀二的另一进口经泵与清液箱相连通，且电动三通阀二的出口连通至压滤机，压滤机的脏液槽连通至脏液箱，压滤机的清液槽经管路连通至电动三通阀三的进口，且压滤机的清液槽与电动三通阀三的进口相连的管路上安装有浊度仪，所述电动三通阀三的一个出口连通至脏液箱，另一个出口连通至清液箱。本实用新型一种砂浆切削液在线回收系统，其不但能够进行切削液的回收再利用，且能够在一定程度上提高切片品质。

技术领域

本实用新型涉及一种在线回收系统，尤其是涉及一种对砂浆切削液进行在线回收的系统。

背景技术

目前，光伏/半导体行业在使用砂浆进行切割时,产生的废砂浆如报废处理不但会造成成本损失，而且还会造成环境污染，为此必须进行回收处理。常规的废砂浆回收系统只是简单压滤处理后回收废砂浆进行再利用,因此不仅造成大量切削液损失，而且简单回收的砂浆再使用时对于切片品质也有一定的影响；为此，亟需一种回收系统，其不但能够进行切削液的回收再利用，且能够在一定程度上提高切片品质。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种砂浆切削液在线回收系统，其不但能够进行切削液的回收再利用，且能够在一定程度上提高切片品质。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种砂浆切削液在线回收系统，包含有脏液箱， 所述脏液箱经泵连通至换热器一的进口，所述换热器一的出口经泵连通至电动三通阀二的一个进口，该电动三通阀二的另一进口经泵与清液箱相连通，且电动三通阀二的出口连通至压滤机，压滤机的脏液槽连通至脏液箱，压滤机的清液槽经管路连通至电动三通阀三的进口，且压滤机的清液槽与电动三通阀三的进口相连的管路上安装有浊度仪，所述电动三通阀三的一个出口连通至脏液箱，另一个出口连通至清液箱。

本实用新型一种砂浆切削液在线回收系统，所述脏液箱经泵连通至电动三通阀一的输入端，电动三通阀一的一个输出端回流连通至脏液箱，另一输出端连通至换热器一的进口。

本实用新型一种砂浆切削液在线回收系统，所述电动三通阀二的出口与压滤机的进料口之间的管路上安装有温度变送器。

本实用新型一种砂浆切削液在线回收系统，所述脏液箱上插接有液位计一和搅拌器。

本实用新型一种砂浆切削液在线回收系统，所述清液箱上安装有液位计二。

本实用新型一种砂浆切削液在线回收系统，所述清液箱上安装有循环精滤组件，所述循环精滤组件包含有精滤膜组和换热器二，精滤膜组的进口连通至清液箱，精滤膜组的出口连通至换热器二的进液口，该换热器二的出液口经泵连通至清液箱。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

采用实用新型系统后可方便的回收利用废液中的切削液，且通过循环精滤和冷却保证了切削清液的质量，有利于提高后续切割效果；与常规工艺相比，回收的切削液中大颗粒等微粉含量降低，较接近于新切削液，大颗粒等微粉含量会一定程度上影响线切过程中切割的稳定性，导致晶圆片出现线痕、翘曲登等品质异常，采用在线回收切削液后，此类品质异常情况可在一定程度上降低。

附图说明

图1为本实用新型一种砂浆切削液在线回收系统的系统框图。

其中：

脏液箱1、换热器一2、压滤机3、清液箱4、精滤膜组5、换热器二6；

液位计一1.1、搅拌器1.2；

液位计二4.1；

电动三通阀一101、电动三通阀二102、电动三通阀三103、PH计104。

具体实施方式