[实用新型]一种激光微加工长工作距聚焦镜组

说明书

本实用新型提供一种激光微加工长工作距聚焦镜组，包括从物方到像方依次设置的第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜、第四聚焦镜、第五聚焦镜和保护镜，其中所述第一聚焦镜为平凹负聚焦镜，所述第二聚焦镜为平凸正聚焦镜，所述第三聚焦镜为弯月负聚焦镜，所述第四聚焦镜为平凸正聚焦镜，所述第五聚焦镜为弯月负聚焦镜，所述保护镜为平面镜。本实用新型的聚焦镜组整体结构简单，制作成本低，透过率高，通过设置多个聚焦镜可以增加聚焦镜的工作距离，工作距离增加后可以用于加工存在凸起的物品并减少加工时产生的烟雾对镜片的污染，同时在聚焦镜下设置吹气装置，进一步降低烟雾形成的污染。

技术领域

本实用新型涉及激光加工领域，尤其涉及一种激光微加工长工作距聚焦镜组。

背景技术

近年来激光切割广泛应用于微加工处理领域，激光经过进口的20倍聚焦镜可以获得较小的光斑，切割线宽细小，但是此种聚焦镜激光透过率较低、价格昂贵、结构复杂。目前利用1030-1064nm的超快激光进行微加工时，聚焦镜的工作距离较短，无法加工一些存在凸起的产品，且加工过程中产生的烟雾可能会对镜片造成污染。

发明内容

针对现有技术的上述缺陷，本实用新型实施例的目的是提供一种激光微加工长工作距聚焦镜组，通过布置多个聚焦镜，可以增长工作距离，以便加工存在凸起的物体，也可以减少烟雾对镜片的污染。

本实用新型提供一种激光微加工长工作距聚焦镜组，包括从物方到像方依次设置的第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜、第四聚焦镜、第五聚焦镜和保护镜，其中所述第一聚焦镜为平凹负聚焦镜，所述第二聚焦镜为平凸正聚焦镜，所述第三聚焦镜为弯月负聚焦镜，所述第四聚焦镜为平凸正聚焦镜，所述第五聚焦镜为弯月负聚焦镜，所述保护镜为平面镜；所述第一聚焦镜包括第一曲面和第二曲面，所述第二聚焦镜包括第三曲面和第四曲面，所述第三聚焦镜包括第五曲面和第六曲面，所述第四聚焦镜包括第七曲面和第八曲面，所述第五聚焦镜包括第九曲面和第十曲面；所述第一曲面至第十曲面的曲率半径依次为无穷大、-12.23mm、无穷大、40.51mm、36.81mm、-27.23mm、41.03mm、无穷大、20.97mm、-38.83mm。

进一步地，所述第一曲面朝向物方且为平面，所述第二曲面朝向像方且向物方凹陷；所述第三曲面朝向物方且为平面，所述第四曲面朝向像方且向像方凸起；所述第五曲面朝向物方且向物方凸起，所述第六曲面朝向像方且向物方凹陷；所述第七曲面朝向物方且向物方凸起，所述第八曲面朝向像方且为平面；所述第九曲面朝向物方且向物方凸起，所述第十曲面朝向像方且向物方凹陷。

进一步地，所述第二曲面和第三曲面之间的间距大于第四曲面和第五曲面之间的间距。

进一步地，所述第四曲面和第五曲面之间的间距大于第六曲面和第七曲面之间的间距。

进一步地，所述第六曲面和第七曲面之间的间距大于第八曲面和第九曲面之间的间距。

进一步地，所述第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜、第四聚焦镜、第五聚焦镜和保护镜均采用熔融石英制成。

进一步地，所述激光微加工长工作距聚焦镜组的焦距为10mm,工作距离为 20mm。

本实用新型提供的技术方案带来的有益效果是：本实用新型提供的聚焦镜组整体结构简单，制作成本低，透过率高，通过设置多个聚焦镜可以增加聚焦镜的工作距离，工作距离增加后可以用于加工存在凸起的物品并减少加工时产生的烟雾对镜片的污染，同时在聚焦镜下设置吹气装置，进一步降低烟雾形成的污染。

附图说明

图1为本实用新型一种激光微加工长工作距聚焦镜组的结构示意图。

图2为本实用新型一种激光微加工长工作距聚焦镜组的光路示意图。

图3为本实用新型一种激光微加工长工作距聚焦镜组的模量传递函数MTF 曲线示意图。