[实用新型]一种双带通滤光片有效
申请号: | 202022608627.9 | 申请日: | 2020-11-12 |
公开(公告)号: | CN214174663U | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 刘文波;武斌 | 申请(专利权)人: | 深圳市美思先端电子有限公司 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28;C23C14/30;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/54 |
代理公司: | 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙) 44309 | 代理人: | 廉红果 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明新区公明街道塘家社区观*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双带通 滤光 | ||
1.一种双带通滤光片,其特征在于,包括基片(1)、前表面膜层(2)和后表面膜层(3),所述基片(1)位于所述前表面膜层(2)和所述后表面膜层(3)之间,所述前表面膜层(2)和所述后表面膜层(3)均以锗和硫化锌为镀膜材料;其膜系结构为满足λ/4周期对称的膜系(0.5HL0.5H)S和(0.5LH0.5L)S,其中,λ为中心波长,H为锗的λ/4层,L为硫化锌的λ/4层,S为周期数。
2.根据权利要求1所述的双带通滤光片,其特征在于,所述前表面膜层(2)的膜系采用:
G/0.63(0.5HL0.5H)12(0.5HL0.5H)123.08(0.5LH0.5L)12/Air;
其中,G为单晶硅,H为锗的λ/4层,L为硫化锌的λ/4层,Air为空气。
3.根据权利要求1或2所述的双带通滤光片,其特征在于,所述后表面膜层(3)的膜系采用:
G/4H(0.5HL0.5H)18/Air;
其中,G为单晶硅,H为锗的λ/4层,L为硫化锌的λ/4层,Air为空气。
4.根据权利要求1所述的双带通滤光片,其特征在于,与所述基片(1)相邻的膜层为第一层,所述前表面膜层(2)中第一层为硫化锌膜层,最后一层为硫化锌膜层,偶数层均为锗膜层,奇数层均为硫化锌膜层;所述后表面膜层(3)中第一层为硫化锌膜层,最后一层为硫化锌膜层,所述偶数层均为锗膜层,奇数层均为硫化锌膜层。
5.根据权利要求4所述的双带通滤光片,其特征在于,所述基片(1)为单晶硅、锗和氟化钙中的一种。
6.根据权利要求1所述的双带通滤光片,其特征在于,所述中心波长包括中波红外波段和远波红外波段的组合波段。
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