[实用新型]一种合成锑化铝多晶材料工艺的装置有效
| 申请号： | 202022612467.5 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN213896063U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 殷子昂;张香港;刘珂静;王涛 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B28/04 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 王鲜凯 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合成 锑化铝 多晶 材料 工艺 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种合成锑化铝多晶材料工艺的装置，其特征在于包括石英塞(1)、石墨垫片(2)、氮化硅陶瓷坩埚(3)和石英坩埚(4)；氮化硅陶瓷坩埚(3)置于石英坩埚(4)内，石墨垫片(2)位于氮化硅陶瓷坩埚(3)上端口，石英塞(1)置于石墨垫片(2)上方，且置于石英坩埚(4)内；使用时抽真空后，石英塞与石英坩埚通过氢氧焰焊接。
2.根据权利要求1所述合成锑化铝多晶材料工艺的装置，其特征在于：所述石墨垫片(2)厚度为2毫米。
3.根据权利要求1所述合成锑化铝多晶材料工艺的装置，其特征在于：所述氮化硅陶瓷坩埚(3)壁厚为5毫米，上表面粗糙。
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