[实用新型]一种掩膜板框架及掩膜板组件有效

专利信息
申请号: 202022623233.0 申请日: 2020-11-13
公开(公告)号: CN213772187U 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 高崇;梁舰;史晓波;冯敏强 申请(专利权)人: 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 掩膜板 框架 组件
【权利要求书】:

1.一种掩膜板框架,其特征在于,用于支撑掩膜板(200),所述掩膜板框架(100)包括基座(1)和至少一组调整机构(2),所述基座(1)上设置有窗口(11),所述掩膜板(200)支撑于所述窗口(11)处,所述调整机构(2)滑动设置于所述基座(1)上,并与所述掩膜板(200)相连,每组所述调整机构(2)均包括:

两组拉伸组件(21),两组所述拉伸组件(21)均滑动设置于所述基座(1)上并位于所述窗口(11)的相对两侧,所述拉伸组件(21)与所述掩膜板(200)的对应侧相连,两组所述拉伸组件(21)能够沿第一方向靠近或远离所述窗口(11),以将所述掩膜板(200)拉紧或放松。

2.根据权利要求1所述的掩膜板框架,其特征在于,每组所述拉伸组件(21)均对应设置有一组调节组件(22),每组所述调节组件(22)与对应的所述拉伸组件(21)传动连接,每组所述调节组件(22)能够驱动对应的所述拉伸组件(21)沿所述第一方向往复移动。

3.根据权利要求2所述的掩膜板框架,其特征在于,每组所述拉伸组件(21)均包括:

滑动部(211),滑动设置于所述基座(1)上,并与对应的所述调节组件(22)传动连接;及

连接部(212),连接于所述滑动部(211),并与所述掩膜板(200)相连。

4.根据权利要求3所述的掩膜板框架,其特征在于,每组所述调节组件(22)包括:

齿条(221),连接于所述滑动部(211),并沿所述第一方向延伸;

齿轮(222),转动设置于所述基座(1)内,并与所述齿条(221)啮合连接,所述齿轮(222)转动,以使所述齿条(221)移动,并带动所述拉伸组件(21)沿所述第一方向移动。

5.根据权利要求4所述的掩膜板框架,其特征在于,所述基座(1)上与每组所述滑动部(211)均对应设置有一个凹槽(12),所述滑动部(211)滑动设置于所述凹槽(12)内。

6.根据权利要求5所述的掩膜板框架,其特征在于,每个所述凹槽(12)的槽口上均盖设有覆盖部(13),所述覆盖部(13)与对应的所述凹槽(12)之间形成容置腔。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的掩膜板框架,其特征在于,每组所述拉伸组件(21)均对应设置有一组锁紧部(23),所述锁紧部(23)能够选择性锁定所述拉伸组件(21)。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的掩膜板框架,其特征在于,所述调整机构(2)设置有两组,其中一组所述调整机构(2)沿所述第一方向设置于所述基座(1)上的相对的两侧,另一组所述调整机构(2)沿第二方向设置于所述基座(1)上的相对的两侧,所述第一方向与所述第二方向相垂直。

9.一种掩膜板组件,其特征在于,包括权利要求1-8中任一项所述的掩膜板框架以及支撑于所述掩膜板框架(100)上的掩膜板(200)。

10.根据权利要求9所述的掩膜板组件,其特征在于,所述掩膜板(200)上设置有开口区域(201),所述开口区域(201)与所述掩膜板框架(100)的所述窗口(11)相对设置,所述掩膜板(200)的位于所述开口区域(201)的周向设置有加强结构(202)。

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