[实用新型]一种半导体生产用化学品防泄漏装置有效
申请号: | 202022629059.0 | 申请日: | 2020-11-14 |
公开(公告)号: | CN213840067U | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 王敏;孙珏;吴汉涛 | 申请(专利权)人: | 无锡恒大电子科技有限公司 |
主分类号: | F16M3/00 | 分类号: | F16M3/00;F16F15/067 |
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地址: | 214000 江苏省无锡市建*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 生产 化学品 泄漏 装置 | ||
1.一种半导体生产用化学品防泄漏装置,其特征在于,包括底座(1),所述底座(1)的上表壁固定连接有防泄漏装置主体(2),所述防泄漏装置主体(2)的顶部上表壁一侧固定连接有下阀体(3),所述下阀体(3)的上表壁均通过螺栓(14)固定连接有上阀体(4),所述下阀体(3)与上阀体(4)连接处外表壁套接有密封条(5),所述上阀体(4)的内部中间部位设有竖直放置的螺纹孔(8),所述螺纹孔(8)的下方和上阀体(4)的内部设有第一通孔(9),所述下阀体(3)的内部设有竖直放置的第二通孔(11),所述第二通孔(11)的下方与下阀体(3)的底部设有第二连接口(12),所述下阀体(3)的内部一侧壁设有第一连接口(13),且第一连接口(13)的一端与第二通孔(11)固定连通,所述螺纹孔(8)内部通过螺纹匹配连接有丝杆(6),所述丝杆(6)的一端贯穿第一通孔(9)与第二通孔(11)的内部并固定连接有密封板(10),所述丝杆(6)的另一端延伸至上阀体(4)的顶部外侧并固定连接有旋转盖(7)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用化学品防泄漏装置,其特征在于,所述密封板(10)的直径与第二通孔(11)的内表壁直径相同。
3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用化学品防泄漏装置,其特征在于,所述底座(1)的下表壁四角处均固定连接有套筒(15),所述套筒(15)内部顶端均固定连接有弹性杆(16)的顶端,所述弹性杆(16)的底端均固定连接于滑块(17)的上表壁,所述滑块(17)均滑动连接于套筒(15)的内壁,所述滑块(17)的下表壁均固定连接有固定块(19),所述固定块(19)的下表壁均固定连接有万向轮。
4.根据权利要求3所述的一种半导体生产用化学品防泄漏装置,其特征在于,所述弹性杆(16)的外表壁均套设有减震弹簧(18),所述减震弹簧(18)的顶端均固定连接与套筒(15)的内部上表壁,所述减震弹簧(18)的底端均固定连接于滑块(17)的上表壁。
5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用化学品防泄漏装置,其特征在于,所述底座(1)的下表壁四角处位于套筒(15)的一侧均固定连接有伸缩杆(20),所述伸缩杆(20)的外部均通过齿轮啮合连接有摇把(21),且摇把(21)的外部均套设有防滑套。
6.根据权利要求1所述的一种半导体生产用化学品防泄漏装置,其特征在于,所述防泄漏装置主体(2)的两侧外表壁均通过倾斜45°的加固杆与底座(1)的上表壁连接。
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