[实用新型]一种刻蚀机的下电极载片台

权利要求书

1.一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，包括

基座箱(100)；

升降清扫机构(200)，所述升降清扫机构(200)包括减速电机(210)、垂直丝杆(220)、滑块(230)、支杆(240)、载片台体(250)、电动推杆(260)和刷子(270)，所述减速电机(210)固定连接于所述基座箱(100)内底部一侧，所述垂直丝杆(220)转动连接于所述基座箱(100)内部，所述减速电机(210)输出端与所述垂直丝杆(220)底部传动连接，所述滑块(230)与所述垂直丝杆(220)传动连接，所述支杆(240)底部与所述滑块(230)顶面两侧固定连接，所述支杆(240)滑动贯穿于所述基座箱(100)内顶部，所述支杆(240)顶部与所述载片台体(250)底部固定连接，所述电动推杆(260)固定连接于所述基座箱(100)内顶部两侧，所述电动推杆(260)输出端与所述刷子(270)一端固定连接，所述刷子(270)与所述载片台体(250)顶面对应设置。

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，所述基座箱(100)底部设置有支腿(110)，所述支腿(110)顶部与所述基座箱(100)底部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，所述基座箱(100)内部设置有支撑板(120)，所述垂直丝杆(220)上下两端分别于转动贯穿于所述支撑板(120)。

4.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，所述减速电机(210)输出端固定连接有第一齿轮(211)，所述垂直丝杆(220)底端设置有第二齿轮(221)，所述第一齿轮(211)与所述第二齿轮(221)传动连接。

5.根据权利要求3所述的一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，所述垂直丝杆(220)通过轴承(222)与支撑板(120)转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，所述垂直丝杆(220)上下两端设置有限位杆(223)，所述限位杆(223)与所述滑块(230)对应设置。

7.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，所述滑块(230)周侧设置有限位桶(231)，所述滑块(230)与所述限位桶(231)滑动连接。

8.根据权利要求7所述的一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，所述滑块(230)两侧设置有限位块(232)，所述限位块(232)滑动贯穿于所述限位桶(231)内。

9.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，所述载片台体(250)顶部间隔设置有缓冲垫(251)，所述缓冲垫(251)覆盖在载片台体(250)顶部。

10.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，所述基座箱(100)外侧设置有检修门(130)，所述检修门(130)上设置有把手(140)。