[实用新型]一种蒸镀腔体内冷却结构及蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀腔体内冷却结构，蒸镀腔体(100)内底部设有坩埚(200)，所述蒸镀腔体(100)内顶部设有用于安装基片的蒸镀盘(300)，其特征在于，所述冷却结构包括至少一个冷却板(1)，所述冷却板(1)设置于所述坩埚(200)与所述蒸镀盘(300)之间，且所述冷却板(1)周边与所述蒸镀腔体(100)的侧壁连接，所述冷却板(1)上开设有能使所述坩埚(200)蒸发的物质蒸镀至所述基片上的通孔(11)。

2.根据权利要求1所述的蒸镀腔体内冷却结构，其特征在于，所述冷却板(1)设有至少两个，且其中一个所述冷却板(1)靠近所述坩埚(200)设置，另一个所述冷却板(1)靠近所述蒸镀盘(300)设置。

3.根据权利要求2所述的蒸镀腔体内冷却结构，其特征在于，靠近所述蒸镀盘(300)设置的所述冷却板(1)上的所述通孔(11)的孔径大于靠近所述坩埚(200)设置的所述冷却板(1)上的所述通孔(11)的孔径。

4.根据权利要求2所述的蒸镀腔体内冷却结构，其特征在于，每个所述冷却板(1)均设有进口和出口；

多个所述冷却板(1)串联，其中一个所述冷却板(1)连接冷却介质供给装置；或，

每个所述冷却板(1)分别连接所述冷却介质供给装置。

5.根据权利要求4所述的蒸镀腔体内冷却结构，其特征在于，所述冷却板(1)内设置有冷却管道，所述冷却管道盘绕设置于所述冷却板(1)内。

6.根据权利要求1所述的蒸镀腔体内冷却结构，其特征在于，所述冷却板(1)的两侧均可拆卸连接有内衬板(2)。

7.根据权利要求1所述的蒸镀腔体内冷却结构，其特征在于，所述蒸镀腔体(100)的内侧侧壁均可拆卸连接有内衬板(2)。

8.根据权利要求1所述的蒸镀腔体内冷却结构，其特征在于，所述冷却板(1)可拆卸设置于所述蒸镀腔体(100)的侧壁上。

9.根据权利要求1所述的蒸镀腔体内冷却结构，其特征在于，所述冷却板(1)的材质为不锈钢。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括蒸镀腔体(100)、设置于所述蒸镀腔体(100)内底部的坩埚(200)、设置于所述蒸镀腔体(100)内顶部用于安装基片的蒸镀盘(300)及设置于所述蒸镀腔体(100)内如权利要求1-9任一项所述的蒸镀腔体内冷却结构。