[实用新型]一种晶圆生产加工专用预烘装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆生产加工专用预烘装置，包括箱体，所述箱体的表面开设有多个加工腔，所述加工腔的内侧设置有放置板，所述加工腔的内壁开设有滑动槽，所述加工腔的内部还设置有侧安装框，所述侧安装框的后表面固定有嵌入至滑动槽内部的连接柱，所述连接柱与滑动槽之间安装有多个内置弹簧，所述滑动槽的内壁上等距离设置有多个限位卡板，所述连接柱的表面开设有供限位卡板卡入的槽；通过设计的连接柱和滑动槽，可以在使用中，根据不同的加工需求来调节放置板的高度，从而满足不同的放置需求，同时整体调节起来十分简单，易于操作，以及设计的内置弹簧和限位卡板，能够保证调节后的稳定性。

技术领域

本实用新型属于晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆生产加工专用预烘装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片等加工后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在对晶圆的加工中，需要通过专门的烘箱进行预烘，从而进行前期的加工。

现有的预烘装置在使用时，无法调节放置盘的高度，因此在使用中，灵活性较差，存在可改进的空间，同时现有的放置盘在抽取中，为平面滑动状，自身的摩擦力较大，实际使用中存在较大的局限性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆生产加工专用预烘装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆生产加工专用预烘装置，包括箱体，所述箱体的表面开设有多个加工腔，所述加工腔的内侧设置有放置板，所述加工腔的内壁开设有滑动槽，所述加工腔的内部还设置有侧安装框，所述侧安装框的后表面固定有嵌入至滑动槽内部的连接柱，所述连接柱与滑动槽之间安装有多个内置弹簧，所述滑动槽的内壁上等距离设置有多个限位卡板，所述连接柱的表面开设有供限位卡板卡入的槽。

优选的，所述连接柱与滑动槽的横截面为T型结构，所述侧安装框的横截面为C型结构。

优选的，所述侧安装框的内侧上端面以及下端面上均安装有滚珠，所述侧安装框的内侧滑动插入有放置板，所述放置板与滚珠滚动连接。

优选的，所述侧安装框的开口处呈向上状弯曲且形成导向边，所述导向边的横截面呈八字型结构。

优选的，所述箱体的表面还旋转安装有多个防护门，每个所述防护门均设置在加工腔的一侧。

优选的，所述加工腔的外侧设置有操作面板，所述操作面板上还安装有按键。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.通过设计的连接柱和滑动槽，可以在使用中，根据不同的加工需求来调节放置板的高度，从而满足不同的放置需求，同时整体调节起来十分简单，易于操作，以及设计的内置弹簧和限位卡板，能够保证调节后的稳定性；

2.通过设计的滚珠，可以在抽取放置板中，降低摩擦力，更加省力，设计的导向边，能够便于放置板的前期插入。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型图1中A区域的放大示意图；

图3为本实用新型侧安装框与滑动槽的连接正视图；

图4为本实用新型侧安装框与滑动槽的连接俯视图；

图5为本实用新型图4中B区域的放大示意图；

图6为本实用新型侧安装框端部的放大示意图。

图中：1、防护门；2、加工腔；3、放置板；4、操作面板；5、箱体；6、侧安装框；7、滚珠；8、连接柱；9、滑动槽；10、内置弹簧；11、限位卡板；12、导向边。

具体实施方式