[实用新型]一种三维固定式晶圆包装盒有效

专利信息
申请号: 202022640513.2 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN214165911U 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 杨琦;张连鹏;孙凯英;崔岩;孙新;谷丽波;韩立萍;宋洪影;李琳 申请(专利权)人: 吉林瑞能半导体有限公司
主分类号: B65D81/05 分类号: B65D81/05;B65D25/10;H05F3/00;B65D43/02;B65D21/036
代理公司: 吉林新发惠利知识产权代理事务所(普通合伙) 22216 代理人: 纪尚
地址: 132013 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 一种 三维 固定 式晶圆 包装
【说明书】:

实用新型公开了一种三维固定式晶圆包装盒,包括盒盖、盒体、卡扣、一号海绵垫、防静电纸、二号海绵垫、三号海绵垫和晶圆,所述盒盖当盒体内部元件装盒完成后紧紧地盖在盒体上,盒体的下方成型有卡扣;所述盒体的内壁贴附有三号海绵垫,三号海绵垫内部分层次放置有各种原料,其中最下方在盒体的底部放置有两块一号海绵垫,这两块一号海绵垫的上方放置有两张防静电纸,防静电纸的上方放置晶圆,然后依次放置晶圆,同时每层晶圆之间都放置有一层一号海绵垫,当放置到盒体的顶部时晶圆上方放置两张防静电纸,防静电纸的上方放置两层一号海绵垫。

技术领域

本实用新型涉及一种包装盒,具体是一种三维固定式晶圆包装盒。

背景技术

目前,公知的晶圆包装方法是由静电纸、泡沫垫、泡沫边条和晶圆盒包装而成。边条与晶圆之间留有空隙,将静电纸与晶圆直接接触作为隔离。但是,当在运输、转运过程中,会由于外界对其造成颠簸或大力晃动的情况,由此对晶圆表面金属造成划伤,形成缺陷。

为了克服现有的包装方式无法满足保护晶圆表面金属的情况。本实用新型提供一种采用三维固定法的包装方式,通过边缘加塞泡沫、上层加垫海绵垫,对晶圆进行空间上的固定,起到对晶圆表面的保护。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种三维固定式晶圆包装盒,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种三维固定式晶圆包装盒,包括盒盖、盒体、卡扣、一号海绵垫、防静电纸、二号海绵垫、三号海绵垫和晶圆,所述盒盖当盒体内部元件装盒完成后紧紧地盖在盒体上;所述盒体的内壁贴附有三号海绵垫,三号海绵垫内部分层次的有各种原料,其中在盒体的底部上方贴附有两块一号海绵垫,这两块一号海绵垫的上方紧密贴合有两张防静电纸,防静电纸的上方贴合有晶圆,盒体中中堆叠设置有若干个晶圆,同时每层晶圆之间都贴合有一层一号海绵垫,对于盒体最顶部的晶圆上方贴合有两张防静电纸,防静电纸的上方紧密贴合两层一号海绵垫。

作为本实用新型进一步的方案:所述盒体中最上层的两层一号海绵垫不应超过盒体的上沿。

作为本实用新型进一步的方案:所述盒体贴附有三号海绵垫的空隙中通过工具放置有对折成三折的二号海绵垫,对晶圆进行空间上的固定,同时二号海绵垫不应超过盒体的上沿。

作为本实用新型进一步的方案:所述盒盖外沿成型有卡槽,盒体的下方成型有卡扣,当放置晶圆的盒子叠放时,上方的盒体上的卡扣插入本盒盖卡槽中使得盒子叠放时更加稳定。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

通过边缘加塞泡沫、上层加垫海绵垫,对晶圆进行空间上的固定,保证静电纸或接触物与晶圆保持相对静止的状态,避免晶圆表面金属产生划痕。

附图说明

图1为三维固定式晶圆包装盒的结构示意图。

图2为三维固定式晶圆包装盒中俯视结构示意图。

图中:1盒盖、2盒体、3卡扣、4一号海绵垫、5防静电纸、6二号海绵垫、7三号海绵垫和8晶圆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

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