[实用新型]一种干涉仪用精密样品工装

说明书

本实用新型公开了一种干涉仪用精密样品工装，涉及物理光学技术领域。本实用新型包括观察机构、固定机构和支撑机构，固定机构与观察机构螺纹连接，支撑机构与观察机构套接，固定机构上设置有旋转销和弹性压块，支撑机构设置有固定件。本实用新型通过设置固定机构和支撑机构，当把样品放置在观察机构的定位面上的时候，使固定件的固定头可以将样品按压固定在定位面上，避免了汗渍或者灰尘对检测结果造成影响，然后四个旋转销单独工作，依零件形状可同时使用，也可只使用部分，以适应圆形、方形、异形样品的装夹，与旋转销配合使用的观察机构的定位面确保样品竖直，避免倾斜，实现不同样品的通用装夹，同时确保样品与光路的正相干，避免测量偏差。

技术领域

本实用新型属于物理光学技术领域，特别是涉及一种干涉仪用精密样品工装。

背景技术

干涉仪用精密样品工装，顾名思义，是应用在干涉仪上面的一种精密样品工装，在现在生活中十分常见，虽然现有的干涉仪用精密样品工装可进行PV、RMS、IRR等面形指标的精确测量，但是它在实际的使用过程中仍存在以下弊端。

现有的干涉仪用精密样品工装的样品装夹使用的是三爪卡盘，在实际操作中三爪卡盘仅适用于圆形样品的装夹，对于方形、异形件样品则很难固定住，且在进行圆形样品装夹时，由于缺少定位点，样品容易出现肉眼无法察觉的微量倾斜，对干涉图造成一定影响，最终出现测量偏差，甚至无法测量的情况。

现有的干涉仪用精密样品工装在进行样品的装夹时，通常是用手固定住样品，然后使用装夹工具进行固定，但是在用手固定样品的时候，容易导致手上的汗渍与灰尘落在样品上，造成干涉时数据出现误差。

因此，现有的干涉仪用精密样品工装实用性不强，无法满足实际使用中的需求，所以市面上迫切需要能改进的技术，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种干涉仪用精密样品工装，通过设置观察机构、固定机构和支撑机构，可以将样品精密定位，兼容圆形、方形、异形样品，并且不会在放置样品时沾上污渍，解决了干涉仪测量过程中，样品安装容易倾斜、安装不稳、干涉图易受干扰和在固定样品的时候样品容易晃动、容易在样品上留下污渍的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种干涉仪用精密样品工装，包括观察机构、固定机构和支撑机构，所述固定机构与观察机构螺纹连接，所述支撑机构与观察机构套接，所述固定机构包括旋转销和弹性压块，所述旋转销的一端设置有螺纹头，所述旋转销的另一端套接弹性压块，所述支撑机构包括转动杆、支撑杆和固定件，所述支撑杆的一端插接在转动杆上，所述支撑杆的另一端上开设有连接孔，连接孔中设置有内螺纹，所述固定件通过连接孔与支撑杆螺纹连接。

进一步地，所述观察机构包括定位板、卡圈、方形槽和固定柱，所述定位板的一侧设置有卡圈，所述定位板的另一侧设置有方形槽，所述固定柱的底部固定连接在定位板上，方形槽置于定位板中部，定位板、卡圈、方形槽三者一体成型加工，通过设置定位板，可以使样品进行干涉的时候提供一个定位面，用于将样品保持竖直状态。

进一步地，设置有方形槽的所述定位板的一侧为定位面，所述定位板的中部开设有观察孔，所述方形槽的四壁的中间位置均开设有螺纹孔。

进一步地，所述固定机构与方形槽上的螺纹孔一一对应，所述旋转销上开设有外螺纹，通过设置外螺纹，可以与螺纹孔螺纹连接，用于通过改变旋转销在方形槽中的长度使弹性压块可以固定样品。

进一步地，所述转动杆的底部开设有转动槽，所述固定件包括固定杆和固定头，所述固定杆上开设有外螺纹，所述固定头固定连接在固定杆的底部，通过设置固定头，可以使固定件在接触固定样品时，用于保护样品的清洁，不会在样品上留下污渍。

进一步地，所述转动杆的底部与观察机构上的固定柱活动连接，所述固定柱中设置有限位件，所述转动槽与固定柱中的限位件卡接。