[实用新型]一种晶圆背面磨床的磨削吸盘

权利要求书

1.一种晶圆背面磨床的磨削吸盘，其特征在于，所述磨削吸盘包括吸盘主体以及调节吸管体，所述吸盘主体上端面处设置有若干个吸气孔组，若干个所述吸气孔组以吸盘主体的轴线为中心线环形阵列设置，所述吸气孔组包括至少两个吸气孔体，所述吸气孔体不贯穿所述吸盘主体，所述吸盘主体侧曲面上均匀的设置有若干个插孔，所述插孔与吸气孔体相连通；

所述调节吸管体插入设置在插孔内，所述调节吸管体内部中空，所述调节吸管体的侧曲面上沿其轴线方向的均匀设置有若干个通气孔组，每个所述通气孔组均包括不同数量的通气孔体，所述通气孔体与吸气孔体相配合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆背面磨床的磨削吸盘，其特征在于，所述吸盘主体的中心处贯穿的设置有通孔，所述插孔与通孔相连通。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆背面磨床的磨削吸盘，其特征在于，所述调节吸管体尾部设置有调节组件，所述调节组件包括转动块、固定板以及连接件，所述转动块设置在调节吸管体尾端端面且呈正棱柱状，所述转动块的中心线与调节吸管体的轴线相重合，所述固定板卡入设置在调节吸管体上，所述连接件穿过固定板且穿入吸盘主体内。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆背面磨床的磨削吸盘，其特征在于，所述通孔内设置有导气管，所述导气管尾部设置有通气管且与通气管相连通，所述通气管与抽真空设备相连通。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆背面磨床的磨削吸盘，其特征在于，所述导气管周身设置有若干个导气孔，所述导气孔与插孔相连通。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆背面磨床的磨削吸盘，其特征在于，所述调节吸管体尾部环绕的设置有卡槽，所述固定板一侧设置有卡口，所述固定板通过卡口卡入卡槽内。