[实用新型]一种晶圆背面磨床的物料定位装置

权利要求书

1.一种晶圆背面磨床的物料定位装置，包括吸附盘，所述吸附盘与抽真空装置相连通，其特征在于，所述物料定位装置还包括安装壳体、旋转机构以及定中心机构，

所述安装壳体包括底座、导向板以及安装板，多个所述安装板环绕设置在底座四侧，所述安装板设置在底座上方，所述安装板设置在底座与导向板之间，所述吸附盘设置在安装板上，所述导向板上呈环形阵列的设置有至少三个导向孔，所述导向孔在其延伸方向上均穿过同一个圆心；

所述旋转机构包括驱动组件以及传动组件，所述驱动组件设置在底座上且伸入安装壳体内部，所述传动组件设置在安装壳体内且位于驱动组件一侧，所述驱动组件带动传动组件转动；

至少三个所述定中心机构呈圆形阵列分布在传动组件上，所述定中心机构包括相连接的连接组件以及滑动组件，所述连接组件与传动组件相连接，所述滑动组件穿过导向孔且可沿导向孔运动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆背面磨床的物料定位装置，其特征在于，所述传动组件包括中空轴、传动轮、传动件、传动套以及转动盘，所述中空轴与吸附盘相连通，所述传动件设置在传动轮以及驱动组件上，所述驱动组件带动传动轮转动，所述传动轮以及转动盘均套设在传动套上，所述传动套套设置中空轴上且随传动轮转动，所述转动盘设置在传动轮上方，所述转动盘随传动套转动。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆背面磨床的物料定位装置，其特征在于，所述驱动组件为伺服电机，所述传动件为皮带。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆背面磨床的物料定位装置，其特征在于，所述连接组件包括第一紧固件、连接折板以及第二紧固件，所述滑动组件包括导向柱以及导向套，所述连接折板一端与第一紧固件相连接，所述连接折板另一端与第二紧固件相连接，所述第一紧固件与转动盘相连接，所述导向柱设置在第二紧固件上，所述导向柱向上穿出所述导向孔，所述导向套套设在导向柱上且可绕导向柱转动。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆背面磨床的物料定位装置，其特征在于，所述安装板包括相连接的挡边以及折边，所述底座四侧设置有支撑板，所述挡边与支撑板的侧面相贴合，所述折边设置在支撑板上方，所述导向板设置在支撑板上方且位于折边与支撑板之间。