[实用新型]一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具

权利要求书

1.一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具，其特征在于，包括底板，在所述底板上部设有密封端固定块，中部设有波纹管固定板，下部设有出气口固定块，在所述密封端固定块底部设有滑轨螺丝a，所述滑轨螺丝a能在底板的上滑道中移动；所述波纹管固定板包括相连的上盖板和下盖板，所述上盖板和下盖板的内壁凹设有波纹管避让槽，所述波纹管避让槽上部与底部分别连接有气管避让槽，所述下盖板固定在底板上；所述出气口固定块底部设有滑轨螺丝b，所述滑轨螺丝b能在底板的下滑道中移动。

2.根据权利要求1所述一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具，其特征在于，所述密封端固定块、波纹管固定板、出气口固定块分布位置与不锈钢气管形状相对应。

3.根据权利要求1所述一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具，其特征在于，所述底板上部设有位于密封端固定块一侧的垫板，所述垫板用于支撑不锈钢气管的上拐弯处。

4.根据权利要求1所述一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具，其特征在于，所述密封端固定块上设有不同高度的固定孔，用于与不锈钢气管端部的法兰密封连接件相连。

5.根据权利要求1所述一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具，其特征在于，所述出气口固定块上设有使气管穿过的凹槽。

6.根据权利要求1所述一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具，其特征在于，所述底板的下滑道末端上方设有与不锈钢气管相连的转接法兰。

7.根据权利要求1所述一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具，其特征在于，所述底板两端开有把手通槽。

8.根据权利要求1所述一种半导体设备内不锈钢气管的测漏固定治具，其特征在于，所述上盖板和下盖板通过四周螺丝进行锁紧。