[实用新型]粉末的原子层沉积装置

权利要求书

1.一种粉末的原子层沉积装置，其特征在于，包括：

一真空腔体，包括一反应空间，并用以容置复数个粉末；

一轴封装置，包括一外管体及一内管体，其中该外管体及该内管体为空心柱状体，该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体，而该内管体则具有一连接空间，其中该外管体与该内管体同轴设置，该内管体由该外管体的该容置空间延伸至该真空腔体的该反应空间，并形成一凸出管部；

一驱动单元，通过该外管体连接该真空腔体，并经由该外管体带动该真空腔体转动；

至少一抽气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以抽出该反应空间内的一气体；及

至少一进气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以将一前驱物或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末；

其中该反应空间具有一第一长度，而该凸出管部则有一第二长度，该第一长度为该反应空间内的最大长度，且该第二长度与该第一长度的比值大于0.1并小于0.9。

2.根据权利要求1所述的粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该反应空间为一圆形波浪状柱状体或一多边形的柱状体。

3.根据权利要求1所述的粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该真空腔体的一底部设置一凹槽，该凹槽由该真空腔体的该底部延伸至该反应空间，并用以容置该内管体，且该真空腔体通过至少一固定单元固定在该轴封装置，该固定单元卸下后，该真空腔体会与该轴封装置分离。

4.根据权利要求1所述的粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该进气管线包括至少一非反应气体输送管线位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将该非反应气体输送至该真空腔体的该反应空间内，以吹动该反应空间内的该粉末。

5.一种粉末的原子层沉积装置，其特征在于，包括：

一真空腔体，包括一反应空间，并用以容置复数个粉末；

一轴封装置，包括一外管体及一内管体，其中该外管体及该内管体为空心柱状体，该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体，而该内管体则具有一连接空间，其中该外管体与该内管体同轴设置，该内管体由该外管体的该容置空间延伸至该真空腔体的该反应空间，并形成一凸出管部；

一驱动单元，通过该外管体连接该真空腔体，并经由该外管体带动该真空腔体转动；

至少一抽气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以抽出该反应空间内的一气体；及

至少一进气管线，位于该内管体的该连接空间内，并流体连接该真空腔体的该反应空间，用以将一前驱物或一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末；

其中该反应空间具有一第一宽度及一第一长度，该第一长度为该反应空间的最大长度，而第一宽度为该反应空间的最大宽度，该第一宽度垂直该第一长度，且该反应空间的该第一宽度与该第一长度的比值大于0.4并小于3.1。

6.根据权利要求5所述的粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该反应空间为一圆形波浪状柱状体或一多边形的柱状体。

7.根据权利要求5所述的粉末的原子层沉积装置，其特征在于，其中该真空腔体的一外表面包括一凹槽，该凹槽由该真空腔体的该外表面延伸至该反应空间，并用以容置该内管体，且该真空腔体通过至少一固定单元锁固在该轴封装置，该固定单元卸下后，该真空腔体会与该轴封装置分离。