[实用新型]一种静电吸附装置集尘筒与匀气筒装配定位夹具组合

权利要求书

1.一种静电吸附装置集尘筒与匀气筒装配定位夹具组合，其特征在于，它包括：

第一定位夹具（1），所述第一定位夹具（1）包括第一底板（11）和第一定位柱（12），所述第一定位柱（12）的端部与所述第一底板（11）的板面相连接，所述第一底板（11）上开设有第一嵌槽（111），所述第一嵌槽（111）围绕所述第一定位柱（12）端部设置，所述第一嵌槽（111）与集尘筒（3）端部的第一法兰（31）相匹配，所述第一定位柱（12）的长度与集尘筒（3）的长度匹配；

第二定位夹具（2），所述第二定位夹具（2）包括第二底板（21）和第二定位柱（22），所述第二定位柱（22）的端部与所述第二底板（21）的板面相连接，所述第二底板（21）上开设有第二嵌槽（211），所述第二嵌槽（211）围绕所述第二定位柱（22）端部设置，所述第二嵌槽（211）与匀气筒（4）端部的第二法兰（41）相匹配，所述第二定位柱（22）的长度与集尘筒（3）及匀气筒（4）整体的长度匹配。

2.根据权利要求1所述的静电吸附装置集尘筒与匀气筒装配定位夹具组合，其特征在于：所述第一定位柱（12）和/或所述第二定位柱（22）上具有外径缩小部位，所述外径缩小部位的外径小于所述第一定位柱（12）和/或所述第二定位柱（22）其它部位的外径。

3.根据权利要求2所述的静电吸附装置集尘筒与匀气筒装配定位夹具组合，其特征在于：所述第一定位柱（12）和/或所述第二定位柱（22）包括可分离的近端部分和远端部分，所述远端部分相对于所述近端部分更远离所述第一底板（11）或所述第二底板（21），所述远端部分包括所述外径缩小部位。

4.根据权利要求3所述的静电吸附装置集尘筒与匀气筒装配定位夹具组合，其特征在于：所述第一定位柱（12）远端部分的远端直径与近端部分直径相同。

5.根据权利要求3所述的静电吸附装置集尘筒与匀气筒装配定位夹具组合，其特征在于：所述第二定位柱（22）所述远端部分的远端直径小于近端部分直径。

6.根据权利要求3所述的静电吸附装置集尘筒与匀气筒装配定位夹具组合，其特征在于：所述外径缩小部位可分离地插设在所述近端部分中。