[实用新型]一种液位检测装置及其构成的废气处理系统

说明书

本实用新型公开了一种液位检测装置及其构成的废气处理系统，液位检测装置包括筒体，所述筒体一侧的上表面设置有进气口，所述筒体顶部设置有排气口，所述进气口和排气口通过输气管道连接，所述输气管道的弯头底部设有排液孔；所述筒体另一侧设置有液位计，所述筒体一侧的底部设置有排液口，所述排液口处连接有排液管，所述排液管上设置有排水电磁阀，还包括报警装置，所述报警装置与所述液位计连接，该装置通过排液孔将输气管道中的液体排到筒体中，排气口将气体排出去，实现气液的分离，通过液位计监测筒体中收集的液体量，废气处理系统通过报警装置提醒工作人员处理，或者开启排水电磁阀排出液体，避免多晶硅废气管线中发生泄漏带来的事故。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产领域，特别是涉及一种液位检测装置及其构成的废气处理系统。

背景技术

在多晶硅生产过程中，原料硅粉以固态形式与氯化氢气体在高温下进行化学反应，生成气态硅烷。气态硅烷由经过换热设备冷却后变为液态硅烷，液态硅烷经过精馏塔提纯后通过蒸汽加热变为气态硅烷，最后经还原炉气相沉积形成最终固相产品高纯多晶硅。此生产工艺就是利用了硅烷在低温下为液态，高温下为气态的特性。另外由于硅烷气是易燃、易爆、有毒、有害气体，不能直接与空气接触和排放。需要将硅烷气用水充分淋洗，硅烷与水发生水解反应，生产二氧化硅及盐酸，反应过程会释放大量热能。

为降低多晶硅生产的能耗及成本，不对环境造成污染。整个生产均采用闭路循环方式，为了实现闭路循环就需要对反应过的气态硅烷气进行冷却，对冷却后的液态硅烷继续提纯后再次进行气相沉积。此方式不仅提高多晶硅的转化率，而且极大的减少了废气的排放量。而冷却硅烷气就需要使用换热设备，通过循环水或冷冻盐水对硅烷气进行冷却。随着运行时间变长，换热器会存在泄漏的可能性，一旦泄漏，冷却用的循环水就会串入硅烷气中，与硅烷气迅速发生水解反应。形成的二氧化硅固体在较多的时候会堵塞管线或者换热器。并放出大量的热，引起设备内燃烧，存在安全隐患。

另外多晶硅废气是通过管道长距离输送至废气处理装置，在冬季气温较低时，废气内的气相硅烷由于低温作为冷凝成液相硅烷，慢慢汇集在管道低点处，最终形成液封，导致废气输送受阻，废气管网压力上升较高，当压力高至冲破液封后管网压力又迅速下降。造成整个废气管网压力波动，为整个生产装置的安全生产造成很大影响。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种液位检测装置及其构成的废气处理系统，能够解决现有多晶硅生产中出现液体堵塞管道，造成事故的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种液位检测装置及其构成的废气处理系统。

其中，该液位检测装置包括筒体1，所述筒体1一侧的上表面设置有进气口3，所述筒体1顶部设置有排气口2，所述进气口3和排气口2通过输气管道6连接，所述输气管道6的弯头底部设有排液孔7；所述筒体1另一侧设置有液位计9。

优选地，一种液位检测装置，还包括报警装置8，所述报警装置8与所述液位计9连接。所述进气口3与弯头底部之间的输气管道6呈斜向下设置。

优选地，一种液位检测装置，所述筒体1顶部还设置有检修孔4。

优选地，一种液位检测装置，所述筒体1一侧的底部设置有排液口5，所述排液口5处连接有排液管，排液管连接到外部的事故池11中。

优选地，一种液位检测装置，所述排液管上设置有排水电磁阀10。

优选地，一种液位检测装置，所述筒体1为圆柱形筒体，其材质为玻璃钢/不锈钢。

优选地，一种液位检测装置，所述报警装置8为磁力开关报警器或者声光报警器，所述液位计9为磁翻板液位计。

一种由液位检测装置构成的废气处理系统，包括控制单元，所述控制单元分别与所述报警装置8与所述液位计9控制连接。