[实用新型]静电吸盘

权利要求书

1.一种静电吸盘，其特征在于，包括吸盘主体、电极及设置在所述吸盘主体的顶部的若干凹槽，所述电极嵌入所述吸盘主体并产生静电以吸附限位在所述凹槽内的芯片，所述静电吸盘配置有电源供应器，用于在接收到第一供电信号时，使所述静电吸盘产生静电，及在接收到第二供电信号时，使所述静电吸盘释放静电。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述凹槽的深度大于或等于所述芯片的厚度。

3.根据权利要求2所述的静电吸盘，其特征在于，所述凹槽的深度为10μm～150μm。

4.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述凹槽为方形凹槽，且所述凹槽呈矩阵分布。

5.根据权利要求4所述的静电吸盘，其特征在于，所述凹槽的长度和宽度分别大于所述芯片的长度和宽度。

6.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述吸盘主体呈圆盘状，所述吸盘主体的直径为300mm或200mm，所述吸盘主体的厚度为500μm～850μm。

7.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述吸盘主体的材料包括氧化铝、氮化铝、碳化硅、氮化硼或氧化锆。

8.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述吸盘主体的表面涂覆有超疏水性绝缘材料。

9.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述电源供应器还包括设置在所述吸盘主体的内部的内部电源和控制电路，所述电极通过控制电路与所述内部电源连接。

10.根据权利要求9所述的静电吸盘，其特征在于，所述静电吸盘还包括与所述内部电源连接的蓄电部件，所述内部电源通过无线方式或有线方式与外部电源连接。

11.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述电源供应器内部设置有感应线圈，与所述感应线圈连接的储能电容及整流电路。