[实用新型]一种单晶硅制造用石英坩埚

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅制造用石英坩埚，包括外壳，外壳的内壁上套设有内壳，外壳内壁的顶部与内壳外壁的顶部之间设置有第一空心圆环，第一空心圆环的底部固定安装有密封环，外壳的顶端卡接有坩埚盖，坩埚盖的底端固定安装有密封罩，密封罩的底端设置有第二空心圆环，坩埚盖的顶端的中心设置有通孔，通孔内转动连接有提拉杆，本实用新型的有益效果是：通过第一空心圆环与密封罩的卡接，使石英坩埚内部具有良好的气密性，再通过密封环与第二空心圆环的卡接大大的增强了石英坩埚的气体密闭性，保证了外部空气不会进入石英坩埚内部对单晶硅造成污染，提升单晶硅的生产制备效率。

技术领域

本实用新型涉及一种石英坩埚，特别涉及一种单晶硅制造用石英坩埚。

背景技术

当前制备单晶硅主要有两种技术，根据单晶硅晶体的生长方式不同可分为区熔法制单晶硅和直拉法制单晶硅，直拉法制备单晶硅是将单晶硅半成品放入坩埚内加热熔化，再通过提拉杆底端的籽晶使熔化的单晶硅沿着提拉杆生长成单晶硅棒，通过直拉法制备的单晶硅，单晶硅的完整性很高，同时具有较大的晶体尺寸，传统的石英坩埚密封性不足，需要将石英坩埚放置在密封容器中，操作繁琐，结构复杂，对此需要设计一种单晶硅制造用石英坩埚。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅制造用石英坩埚，以解决上述背景技术中提出的石英坩埚密封性差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅制造用石英坩埚，包括外壳，所述外壳的内壁上套设有内壳，所述外壳内壁的顶部与内壳外壁的顶部之间设置有第一空心圆环，所述第一空心圆环的底部固定安装有密封环，所述外壳的顶端卡接有坩埚盖，所述坩埚盖的底端固定安装有密封罩，所述密封罩的底端设置有第二空心圆环，所述坩埚盖的底端中心设置有通孔，所述通孔内转动连接有提拉杆。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述外壳的中部开设有四个圆孔，所述外壳的底端固定安装有四个限位块，所述限位块呈矩阵分布。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一空心圆环与密封罩的规格一致，所述密封环与第二空心圆环的规格一致。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述坩埚盖的顶端固定安装有两个提手，两个所述提手在坩埚盖的顶端呈对称分布。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述内壳的底端呈圆形漏斗状。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述外壳的中部开设有观察孔，所述观察孔内固定安装有石英玻璃。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型一种单晶硅制造用石英坩埚，具有密封性能好的特点，具体地说：

本实用新型一种单晶硅制造用石英坩埚，包括外壳与内壳，其中，外壳内壁的顶部与内壳外壁的顶部设置有第一空心圆环，坩埚盖的底端固定安装有密封罩，密封罩与第一空心圆环的规格一致，在坩埚盖闭合时，密封盖能嵌入第一空心圆环内，使坩埚内保持良好的气体密闭性，同时，第一空心圆环的底端固定安装有密封环，在密封罩的底端开设有第二空心圆环，并且密封环与第二空心圆环的规格一致，在坩埚盖闭合时，密封环能够与第二空心圆环卡接，保证坩埚内部的气密性，防止外部气体进入坩埚内部造成单晶硅污染。

附图说明

图1为本实用新型的外观立体结构示意图；

图2为本实用新型的剖面结构示意图；

图3为本实用新型的坩埚盖的结构示意图。

图中：1、外壳；2、内壳；3、坩埚盖；4、提拉杆；5、限位块；11、圆孔；12、第一空心圆环；13、密封环；14、观察孔；15、石英玻璃；31、密封罩；32、通孔；33、提手；34、第二空心圆环。

具体实施方式