[实用新型]一种真空镀膜机用冷却装置有效

专利信息
申请号: 202022665701.0 申请日: 2020-11-18
公开(公告)号: CN213624345U 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 王孟良;吴彦奇;陈春奇;陈卓;梅洪蕾;梅艳红;王孟仁;高春玲;许进;周强 申请(专利权)人: 深圳天成真空技术有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;C23C16/44
代理公司: 深圳市国亨知识产权代理事务所(普通合伙) 44733 代理人: 李夏宏
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 冷却 装置
【说明书】:

本实用新型涉及冷却装置技术领域,尤其是一种真空镀膜机用冷却装置,筒体内设置有换热管,储油盒内开设有储油腔,储油盒上部固定设有与之内部储油腔相连通的出油管,储油盒下部固定设有与之内部储油腔相连通的进油管,换热管下部末端通过管道与进油管相连接,换热管上部末端通过管道与油泵出油口相连接,出油管与油泵进油口相连接,筒体底端设置有一个与之同轴设置的散热风扇,散热风扇的外壳上贯穿设置有成矩形分布的四个螺纹柱,螺纹柱顶端均向上延伸至筒体四周,螺纹柱顶端均通过一个连接块固定连接在筒体上,散热风扇下方的螺纹柱上均螺纹安装有一个螺母,筒体还固定安装在升降机构上。本实用新型具有安装方便,冷却效果好的优点。

技术领域

本实用新型涉及冷却装置技术领域,尤其涉及一种真空镀膜机用冷却装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。在专利公开(公告)号CN208632629U的实用新型中公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置,其在实现冷却效果的前提下,需要在真空镀膜机本体上安装散热水箱等机构,在进行安装的过程中不可避免的需要在镀膜机本体上进行打孔或者焊接安装,这样不仅十分的麻烦,还可能会造成真空镀膜机损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在进行安装的过程中不可避免的需要在镀膜机本体上进行打孔或者焊接安装,这样不仅十分的麻烦,还可能会造成真空镀膜机损坏的缺点,而提出的一种真空镀膜机用冷却装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

设计一种真空镀膜机用冷却装置,包括筒体、储液盒、循环泵,所述筒体由两个通过螺栓螺母固定连接在一起的弧形板组成,所述储液盒内侧面上固定安装有水平设置的第一插杆,所述第一插杆上套设有一个第一套筒,所述第一套筒通过紧固件固定连接在第一插杆上,所述第一套筒固定连接在筒体上,所述筒体内设置有换热管,所述储液盒内开设有储液腔,所述储液盒上部固定设有与之内部储液腔相连通的出液管,所述储液盒下部固定设有与之内部储液腔相连通的进液管,所述换热管下部末端通过管道与进液管相连接,所述换热管上部末端通过管道与循环泵出液口相连接,所述出液管与循环泵进液口相连接,所述筒体底端设置有一个与之同轴设置的散热风扇,所述散热风扇的外壳上贯穿设置有成矩形分布的四个螺纹柱,每个所述螺纹柱均平行于筒体设置,所述螺纹柱顶端均向上延伸至筒体四周,所述螺纹柱顶端均通过一个连接块固定连接在筒体上,所述散热风扇下方的螺纹柱上均螺纹安装有一个螺母,所述筒体还固定安装在升降机构上。

优选的,所述升降机构包括第二插杆、第二套筒、方块、液压杆、底座,所述筒体上固定连接有一个平行于第一插杆设置的第二插杆,所述第二插杆上套设有一个第二套筒,所述第二套筒通过紧固件固定连接在第二插杆上,所述第二套筒外侧末端固定连接有一个方块,所述方块底端固定连接有一个平行于筒体设置的液压杆,所述液压杆底端固定有一个底座。

优选的,所述底座下表面固定安装有均匀分布的若干个滚轮。

优选的,所述储液盒外侧面为弧形面设计,且所述储液盒外侧面上还涂抹有导热硅脂。

本实用新型提出的一种真空镀膜机用冷却装置,有益效果在于:通过设置储液盒、筒体、换热管,将储液盒中的储液腔注入满换热液,然后将储液盒的弧形面贴合与镀膜机外壳设置,然后启动循环泵、散热风扇,储液盒中的换热液吸收了镀膜机外壳上的热量后,经由循环泵从出液管抽出至换热管中,在筒体中,由于散热风扇不断的将空气向上方吹出,在筒体中流动的空气与换热管中的换热液发生热交换,并将热量带有,冷却后的换热液再经由进液管输入储液盒中继续进行下一个循环,进行上述循环多次后就可以实现对镀膜机的快速冷却,在装置使用过程中不需要在镀膜机本体上加装设备,使用起来更加的方便,避免了造成对镀膜机本体的破坏。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空镀膜机用冷却装置的结构示意图一;

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