[实用新型]一种罩式真空退火炉有效
申请号: | 202022668604.7 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN213596325U | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 濮丹飞 | 申请(专利权)人: | 吴江飞乐天和电子材料有限公司 |
主分类号: | C21D1/26 | 分类号: | C21D1/26;C21D1/773;C21D9/00 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 退火炉 | ||
1.一种罩式真空退火炉,包括退火炉主体(1)、真空泵(2)、风扇(3)、保护气瓶(4)和冷凝器(5),其特征在于:所述风扇(3)安装在退火炉主体(1)的上端面,所述退火炉主体(1)外部设置有保护罩(11),所述保护罩(11)的内部设置有隔离罩(12),所述保护罩(11)与隔离罩(12)滑动连接,所述保护罩(11)的内端面设置有冷水管(111),所述冷水管(111)的两端与冷凝器(5)连接,所述退火炉主体(1)的下端面设置有真空管(14),所述真空管(14)与保护气瓶(4)和真空泵(2)贯通连接,所述隔离罩(12)的内端面设置有加热器(121),所述退火炉主体(1)的底部上端面设置有置物台(13)。
2.根据权利要求1所述的一种罩式真空退火炉,其特征在于:所述保护罩(11)的内部上端面和下端面设置有滑槽(112),所述隔离罩(12)插入滑槽(112)内与保护罩(11)滑动连接,常温下隔离罩(12)与保护罩(11)处于密封状态度。
3.根据权利要求1所述的一种罩式真空退火炉,其特征在于:所述保护罩(11)的侧壁内端面设置有膨胀槽(113),所述隔离罩(12)的侧壁外端面设置有膨胀块(123),膨胀块(123)与膨胀槽(113)滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种罩式真空退火炉,其特征在于:所述保护罩(11)的上端设置有隔栅(122)。
5.根据权利要求1所述的一种罩式真空退火炉,其特征在于:所述冷水管(111)螺旋排列在保护罩(11)的侧端面和上端面。
6.根据权利要求1所述的一种罩式真空退火炉,其特征在于:所述冷水管(111)的直径小于保护罩(11)与隔离罩(12)的间距。
7.根据权利要求1所述的一种罩式真空退火炉,其特征在于:所述真空管(14)上设置有三通阀(141),所述真空泵(2)、真空管(14)和保护气瓶(4)通过三通阀(141)贯通连接。
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