[实用新型]一种用于显微角分辨光谱系统的角度测量装置

权利要求书

1.一种用于显微角分辨光谱系统的角度测量装置，包括：三维平移台(1)，角度旋转位移台(2)，微型反射镜(3)，显微物镜(4)，分束器(5)，科勒照明模块(6)，平面反射镜(7)，角分辨成像光路系统(8)，光谱仪配面阵CCD(9)，其特征在于：

所述的角度旋转位移台(2)固定在三维平移台(1)上，微型反射镜(3)固定在角度旋转位移台(2)上；工作时，科勒照明模块(6)发出的光束经分束器(5)45°反射之后，到达显微物镜(4)后会垂直照射在微型反射镜(3)上，光束垂直反射之后有一部分光会穿过分束器(5)到达平面反射镜(7)，再经过角分辨成像光路系统(8)，最终在光谱仪配面阵CCD(9)上成像；科勒照明光路配置下显微物镜(4)后焦平面数值孔径所决定的亮暗边界将由显微物镜(4)物方平面的微型反射镜(3)的旋转角度所控制，三维平移台(1)精确调整微型反射镜(3)的位置。

2.根据权利要求1所述的所述一种用于显微角分辨光谱系统的角度测量装置，其特征在于：所述的三维平移台(1)采用手动或电动控制，步进精度达到1μm，X,Y,Z三轴位移最大位移距离5mm。

3.根据权利要求1所述的所述一种用于显微角分辨光谱系统的角度测量装置，其特征在于：所述的角度旋转位移台(2)上面标有角度示数，总角度范围达到35度，采用同轴角度旋转设计或弧摆设计。

4.根据权利要求1所述的所述一种用于显微角分辨光谱系统的角度测量装置，其特征在于：所述的微型反射镜(3)作为科勒照明工作模式下的平面反射镜,采用的是金属反射镜或任何平面粗糙度小于5nm、具有10％反射率的固体表面。

5.根据权利要求1所述的所述一种用于显微角分辨光谱系统的角度测量装置，其特征在于：所述的显微物镜(4)收集角度达到70度，角度分辨率达到0.2度。