[实用新型]一种MEMS器件AOI检测设备

权利要求书

1.一种MEMS器件AOI检测设备，其特征在于：包括机架、步进顶料模组、传送进出料模组、传送排料模组和三轴自动对焦模组，所述步进顶料模组、传送进出料模组、传送排料模组和三轴自动对焦模组分别安装在所述机架上，所述传送进出料模组包括导轨、滚轮、滚轮驱动装置和托盘，所述滚轮安装所述导轨的侧面，所述滚轮驱动装置与所述滚轮连接，所述托盘架设在所述滚轮上，所述导轨上下贯穿形成导轨槽，所述滚轮对称设置在所述导轨槽的两侧，所述步进顶料模组位于所述导轨槽的下方，所述三轴自动对焦模组位于所述导轨槽的上方，所述步进顶料模组用于穿过所述导轨槽将所述托盘顶升，所述三轴自动对焦模组用于检测被顶升的检测对象，并判定检测对象是否合格，所述传送排料模组与所述传送进出料模组的结构相同，但安装位置不相同，所述传送进出料模组用于将检测对象从上一工位传送至所述三轴自动对焦模组的检测工位，并且，用于将合格的检测对象从所述三轴自动对焦模组的检测工位传送至下一工位，所述传送排料模组用于将不合格的检测对象从所述三轴自动对焦模组的检测工位传送至不合格区域。

2.根据权利要求1所述的MEMS器件AOI检测设备，其特征在于：所述机架包括主体机架、台面板、外壳、电器箱柜、显示器和过滤机，所述台面板、外壳、电器箱柜、显示器和过滤机分别安装在所述主体机架上，所述电器箱柜位于所述主体机架的内部，所述显示器位于所述外壳的前面板上，所述过滤机安装在所述主体机架的顶部。

3.根据权利要求1所述的MEMS器件AOI检测设备，其特征在于：所述步进顶料模组包括顶料固定板、顶料电机、顶料丝杠、顶料直线轴承、顶料导向轴、顶料导柱连接板和顶料丝杠连接件，所述顶料电机安装在所述顶料固定板上，所述顶料电机与所述顶料丝杠连接，所述顶料丝杠与所述顶料丝杠连接件连接，所述顶料丝杠连接件与所述顶料导向轴连接，所述顶料导向轴与所述顶料导柱连接板连接，所述顶料导柱连接板位于所述导轨槽下方，所述顶料导向轴通过所述顶料直线轴承安装在所述顶料固定板上。

4.根据权利要求1所述的MEMS器件AOI检测设备，其特征在于：所述传送进出料模组还包括检测托盘位置的光电开关。

5.根据权利要求1所述的MEMS器件AOI检测设备，其特征在于：所述传送进出料模组通过进出料模组固定型材固定在所述机架上，所述进出料模组固定型材上固定有模组轴承座，所述模组轴承座的上表面安装有至少两个包胶轴承。

6.根据权利要求5所述的MEMS器件AOI检测设备，其特征在于：所述模组轴承座上设有夹紧托盘的夹托盘夹子，所述夹托盘夹子位于所述三轴自动对焦模组的检测工位。

7.根据权利要求1所述的MEMS器件AOI检测设备，其特征在于：所述滚轮驱动装置包括传送电机、斜齿轮传动机构和传送销轴，所述传送电机通过带传动机构与所述斜齿轮传动机构连接，所述斜齿轮传动机构通过所述传送销轴与所述滚轮连接。

8.根据权利要求1所述的MEMS器件AOI检测设备，其特征在于：所述三轴自动对焦模组包括模组支座、X轴直线模组、Y轴直线模组、Z轴升降模组、光学检测单元和吸嘴组件，所述Y轴直线模组设置在所述模组支座上，所述X轴直线模组设置在所述Y轴直线模组上，所述Z轴升降模组设置在所述X轴直线模组上，所述光学检测单元和吸嘴组件分别安装在所述Z轴升降模组上。

9.根据权利要求8所述的MEMS器件AOI检测设备，其特征在于：所述传送排料模组沿Y轴设置，所述传送进出料模组沿X轴设置。

10.根据权利要求8所述的MEMS器件AOI检测设备，其特征在于：所述Z轴升降模组上安装有位移传感器。