[实用新型]一种改善颜色均匀性的管式辅助加热装置

说明书

本实用新型公开了一种改善颜色均匀性的管式辅助加热装置，具体涉及加热装置技术领域，其技术方案是：包括连接线一、连接线二、辅助加热装置一、辅助加热装置二和炉管，所述炉管内侧顶部固定安装辅助加热装置一，所述炉管内侧底部固定安装辅助加热装置二，所述辅助加热装置一内部固定安装连接线二，所述辅助加热装置二内部固定安装连接线一，所述炉管内壁固定安装电阻丝，本实用新型有益效果是：通过在炉管底部和顶部分别安装多根辅助加热装置，具有改善管内硅片受热均匀性，成膜速率一致，颜色均匀性较好的作用。

技术领域

本实用新型涉及加热装置领域，具体涉及一种改善颜色均匀性的管式辅助加热装置。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入手段，可以制成各种半导体器件。

现有技术存在以下不足：现有的石英管通过外围电阻丝加热，靠近石英管壁的硅片受热温度较高，石墨舟中间硅片受热效果较差，内外硅片受热差异较大，成膜效果差异大。

因此，发明一种改善颜色均匀性的管式辅助加热装置很有必要。

实用新型内容

为此，本实用新型提供一种改善颜色均匀性的管式辅助加热装置，通过在炉管底部和顶部分别安装多根辅助加热装置，以解决靠近石英管壁的硅片受热温度较高，石墨舟中间硅片受热效果较差，内外硅片受热差异较大，成膜效果差异大的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种改善颜色均匀性的管式辅助加热装置，包括连接线一、连接线二、辅助加热装置一、辅助加热装置二和炉管，所述炉管内侧顶部固定安装辅助加热装置一，所述炉管内侧底部固定安装辅助加热装置二，所述辅助加热装置一内部固定安装连接线二，所述辅助加热装置二内部固定安装连接线一。

优选的，所述炉管内壁固定安装电阻丝。

优选的，所述炉管设置为筒状。

优选的，所述炉管直径设置为50-60MM。

优选的，所述辅助加热装置一和所述辅助加热装置二并联。

优选的，所述炉管内部固定安装辅助加热装置三，所述辅助加热装置三直径小于石英管直径。

本实用新型的有益效果是：

炉管内侧顶部固定安装辅助加热装置一，炉管具有定位辅助加热装置一和辅助加热装置二的作用，炉管内安装多组辅助加热装置一和辅助加热装置二，辅助加热装置一和辅助加热装置二具有改善炉管内硅片受热均匀性，成膜速率较一致，颜色均匀性较好，炉管内侧底部固定安装辅助加热装置二，辅助加热装置一内部固定安装连接线二，辅助加热装置二内部固定安装连接线一，连接线一具有连接辅助加热装置二的作用，连接线二具有连接辅助加热装置一的作用，炉管设置为筒状，具有方便硅片进入受热的作用，辅助加热装置一和辅助加热装置二并联，具有不影响辅助加热装置一和辅助加热装置二同时使用的作用。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种改善颜色均匀性的管式辅助加热装置的结构图；

图2为本实用新型提供的一种改善颜色均匀性的管式辅助加热装置中实施例2的图。

图中：1连接线一、2连接线二、3辅助加热装置一、4辅助加热装置二、5炉管、6电阻丝、7辅助加热装置三。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1：

参照附图1，该实施例的一种改善颜色均匀性的管式辅助加热装置，包括连接线一1、连接线二2、辅助加热装置一3、辅助加热装置二4和炉管5；