[实用新型]集成电路引线键合作业装置

说明书

本实用新型涉及一种集成电路引线键合作业装置。该集成电路引线键合作业装置包含收集单元，所述收集单元经由真空管连接至储存囊；电磁阀，其经由真空管连接至所述储存囊；以及传感器，其连接至电源且经配置以感测是否存在线渣收集动作，其特征在于，所述传感器响应于存在所述线渣收集动作而控制所述电磁阀开启，以将所述储存囊和所述收集单元连通至真空环境。

技术领域

本实用新型大体涉及半导体封装技术，且更具体来说涉及集成电路引线键合作业装置。

背景技术

在半导体工艺中，由机台执行引线键合(Wire Bond，WB)作业时所用到的作业材料(例如金属线)一旦用尽，要由操作员及时更换作业材料(简称“换线”)。此外，当机台作业性不良发生报警时，也要由操作员重新穿线。上述换线或重新穿线通常需要预留一小段作业材料尾部(简称“线尾”，例如可为长度约7mm左右的金属线)。

在每次完成换线或重新穿线操作后，操作员都要将上述线尾予以切除，从而产生大量线渣。现有作业中，由于缺乏固定的收集装置对线渣进行及时收集，往往出现线渣乱扔乱飞等现象，导致机台运动机构或电路板发生故障。即便在机台附近设置固定的收集装置且操作员能够及时将线渣收集到该收集装置中，仍难以避免纤细的线渣从该收集装置中逸出，依然会导致机台运动机构或电路板发生故障。

有鉴于此，本领域迫切需要提供改进方案以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的实施例通过提供一种新型集成电路引线键合作业装置，以试图在至少某种程度上解决至少一种存在于相关领域中的问题。

在一个实施例中，本实用新型提供一种集成电路引线键合作业装置，其包含：收集单元，其经由真空管连接至储存囊；电磁阀，其经由真空管连接至所述储存囊；以及传感器，其连接至电源且经配置以感测是否存在线渣收集动作，其特征在于，所述传感器响应于存在所述线渣收集动作而控制所述电磁阀开启，以将所述储存囊和所述收集单元连通至真空环境。

根据本实用新型的上述实施例，其中所述传感器是光电传感器，所述光电传感器经配置以将光强度的变化转换成电信号的变化。

根据本实用新型的上述实施例，其中所述传感器包含感应器和处理器。

根据本实用新型的上述实施例，其中所述传感器包含指示灯，所述指示灯经配置以显示不同颜色来指示是否存在所述线渣收集动作。

根据本实用新型的上述实施例，其进一步包含三通管，所述三通管经配置以将所述真空环境提供至机台以及所述电磁阀。

根据本实用新型的上述实施例，其中所述真空环境由真空发生器提供。

根据本实用新型的上述实施例，其中所述电源输出交流电并经由继电器为所述传感器供电。

根据本实用新型的上述实施例，其中所述电源输出直流电并直接为所述传感器供电。

根据本实用新型的上述实施例，其中所述储存囊为过滤器。

根据本实用新型的上述实施例，其中所述收集单元经由连杆连接至机台。

本实用新型实施例的额外层面及优点将部分地在后续说明中描述、显示、或是经由本实用新型实施例的实施而阐释。

附图说明

在下文中将简要地说明为了描述本实用新型实施例或现有技术所必要的附图以便于描述本实用新型的实施例。显而易见地，下文描述中的附图仅只是本实用新型中的部分实施例。对本领域技术人员而言，在不需要创造性劳动的前提下，依然可以根据这些附图中所例示的结构来获得其他实施例的附图。

图1显示现有技术中的线渣收集方式。

图2显示根据本实用新型实施例的新型集成电路引线键合作业装置示意图。