[实用新型]六氟化硫和氮气混气回收分离装置

权利要求书

1.六氟化硫和氮气混气回收分离装置，其特征在于：包括PLC控制系统、混气收集存储系统、膜分离系统、六氟化硫回收系统和氮气处理系统，混气收集存储系统的出气口通过混气输送管路与膜分离系统的进气口连接，膜分离系统的高纯六氟化硫出气口通过高纯六氟化硫管路与六氟化硫回收系统的进气口连接，膜分离系统的氮气分离口通过氮气排出管路与氮气处理系统的进气口连接，膜分离系统的侧出口通过回流管路与混气收集存储系统的进气口连接，PLC控制系统通过控制线路分别与混气收集存储系统、膜分离系统和六氟化硫回收系统连接。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫和氮气混气回收分离装置，其特征在于：混气收集存储系统包括混气进气管路、第一压缩机和混气存储罐，混气进气管路上设有第一电磁比例调节阀，混气进气管路的出气口与第一压缩机的进口连接，第一压缩机的出气口与混气存储罐的进气口连接，混气存储罐上设有第一压力传感器，混气存储罐的出气口与所述的混气输送管路进气口连接，所述的回流管路的出气口与第一压缩机的进气口连接。

3.根据权利要求1或2所述的六氟化硫和氮气混气回收分离装置，其特征在于：膜分离系统包括串联的一级分离膜和二级分离膜，一级分离膜的进气口与所述的混气输送管路的出气口连接，氮气分离口设在一级分离膜上，高纯六氟化硫出气口和侧出口均设在二级分离膜上，高纯六氟化硫管路上沿气流方向依次设有六氟化硫在线纯度监测仪表和第二电磁比例调节阀，回流管路上设有第一电磁阀，回流管路与高纯六氟化硫管路之间连接有不合格气体返回管路，不合格气体返回管路上设有第二电磁阀，不合格气体返回管路的进气口连接在二级分离膜和六氟化硫在线纯度监测仪表之间的高纯六氟化硫管路上，不合格气体返回管路的出气口连接在第一电磁阀与二级分离膜之间的回流管路上。

4.根据权利要求3所述的六氟化硫和氮气混气回收分离装置，其特征在于：氮气排出管路上设有第三电磁阀。

5.根据权利要求4所述的六氟化硫和氮气混气回收分离装置，其特征在于：六氟化硫回收系统包括六氟化硫存储罐、第二压缩机和钢瓶，六氟化硫存储罐上设有第二压力传感器，六氟化硫存储罐的进气口与高纯六氟化硫管路的出气口连接，六氟化硫存储罐的出气口通过抽气管与第二压缩机的进气口连接，第二压缩机的出气口通过注气管与钢瓶的进气口连接。