[实用新型]一种空心阴极宽束考夫曼离子源

权利要求书

1.一种空心阴极宽束考夫曼离子源，其特征在于：包括放电室筒、阴极组件、阳极、充气嘴、离子引出系统和中和器，所述放电室筒的外侧设置永磁钢棒，所述放电室筒和永磁钢棒均通过位于底部的后磁钢座和位于顶部的前磁钢座固定，所述阴极组件和所述阳极同轴设置在所述放电室筒的内部，所述离子引出系统设置在所述前磁钢座的上部，所述中和器设置在所述离子引出系统的上部，所述阴极组件包括阴极、阴极座和阴极靴，所述阴极座的底部侧面连接所述后磁钢座，所述阴极为空心阴极钽管且设置在所述阴极座的中心，所述阴极靴镶嵌在所述阴极座上部的圆柱形筒内，所述阴极靴的上部为倒锥形空心结构，所述阴极靴的中心与所述阴极的内部连通，所述充气嘴与所述阴极和阴极靴的中心连通，所述阳极设置在所述阴极组件的上部，所述离子引出系统的下表面中心设置散流器。

2.如权利要求1所述的空心阴极宽束考夫曼离子源，其特征在于：所述阳极的下部为空心圆柱体结构，上部为锥台形空心结构，所述阳极的锥台形空心结构的上端面面积大于下端面面积，所述空心圆柱体结构的下端面与所述阴极靴的上部倒锥形空心结构相对应，所述锥台形空心结构的上端面与所述前磁钢座的下端面相对应。

3.如权利要求1所述的空心阴极宽束考夫曼离子源，其特征在于：所述阳极通过支撑组件与所述阴极座连接，所述支撑组件包括阳极支柱和阳极固定陶瓷柱，所述阳极支柱通过所述阳极固定陶瓷柱与所述阴极座连接，所述阳极支柱包括阳极陶瓷支柱和阳极接线支柱，所述阳极接线支柱同轴设置在所述阳极陶瓷支柱的内部。

4.如权利要求3所述的空心阴极宽束考夫曼离子源，其特征在于：所述阳极的下部水平向外延伸出固定片，所述阳极支柱与所述固定片通过陶瓷螺母固定连接。

5.如权利要求1所述的空心阴极宽束考夫曼离子源，其特征在于：所述永磁钢棒的外侧设置外罩，所述外罩的上部通过前端瓷块与所述前磁钢座连接，所述外罩的下部通过后端瓷块与所述后磁钢座连接。

6.如权利要求5所述的空心阴极宽束考夫曼离子源，其特征在于：所述外罩的上部连接前盖，所述前盖的下表面通过所述前端瓷块和屏栅瓷柱与所述前磁钢座连接，所述前盖的上表面连接中和器。

7.如权利要求6所述的空心阴极宽束考夫曼离子源，其特征在于：所述离子引出系统包括屏极网栅和设置在所述屏极网栅上部的加速网栅，所述屏极网栅通过屏栅瓷柱与所述前磁钢座连接，所述加速网栅与所述前盖的下表面连接。

8.如权利要求7所述的空心阴极宽束考夫曼离子源，其特征在于：所述散流器设置在所述屏极网栅的下表面中心处，所述散流器为圆柱体与圆锥体相连接组成的凸台结构，所述散流器设置与所述屏极网栅固定的连接孔，所述散流器的材质为高纯电子陶瓷或六硼化镧。

9.如权利要求6所述的空心阴极宽束考夫曼离子源，其特征在于：所述中和器包括中和钨丝和中和瓷柱，所述中和瓷柱为一组，且与所述前盖的上表面连接，所述中和钨丝连接在所述中和瓷柱之间。

10.如权利要求7所述的空心阴极宽束考夫曼离子源，其特征在于：所述外罩的侧部通过轴向角度调整器连接底座。