[实用新型]一种阴极挡板的驱动结构

说明书

本实用新型提供了一种阴极挡板的驱动结构，包括驱动气缸、铰链结构、腔体和阴极挡板，所述阴极挡板的两端分别可转动的安装在腔体上，所述阴极挡板的一端与链接结构的一端相链接，所述铰链结构的另一端与驱动气缸的活塞杆铰接，所述驱动气缸通过铰链结构可驱动阴极挡板做旋转开合运动。本实用新型整体的驱动结构只需要设置一组即可实现对阴极挡板的开合而且阴极挡板的开合控制在有限的空间内，同时也保证阴极挡板的功能，还大大的节省了腔体空间，降低了设备的成本。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机领域，特别涉及一种真空镀膜机的阴极挡板的驱动结构。

背景技术

随着真空镀膜技术的发展，出现了多元复合涂层以及多层复合涂层等各种新型膜系，因此需要镀膜装备具备多组阴极，多组阴极能够同时工作，并且多组阴极同时工作还能提高工业生产中的镀膜生产效率。

目前大型工业生产中使用的主流镀膜设备，其中的挡板设计为开合式挡板，现有技术中的开合型挡板的开合驱动结构十分复杂，从而导致该开合型挡板占用腔体的空间大，从而增加了设备的成本。

实用新型内容

本实用新型的目的时提供一种结构简单、可以节省腔体空间，降低设备成本的真空镀膜机的阴极挡板的驱动结构。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种阴极挡板的驱动结构，包括驱动气缸、铰链结构、腔体和阴极挡板，所述阴极挡板的两端分别可转动的安装在腔体上，所述阴极挡板的一端与链接结构的一端相链接，所述铰链结构的另一端与驱动气缸的活塞杆铰接，所述驱动气缸通过铰链结构可驱动阴极挡板做旋转开合运动。

进一步的，所述铰链结构包括第一铰链部和第二铰链部，所述阴极挡板包括左阴极挡板和右阴极挡板，所述第一铰链部的下端铰接在左阴极挡板上，所述第二铰链部的下端铰接在右阴极挡板上。

进一步的，所述第一铰链部包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的下端与第二连杆的上端之间通过第一接驳槽和第一螺丝固定连接。

进一步的，所述左阴极挡板的前端面设置有多个第一安装孔，所述第一安装孔用于与第二连杆铰接，所述第二连杆通过第一垫片和第一螺栓安装在第一安装孔上。

进一步的，所述第二铰链部包括第三连杆和第四连杆，所述第三连杆的下端与第四连杆的上端之间通过第二接驳槽和第二螺丝固定连接。

进一步的，所述右阴极挡板的前端面设置有多个第二安装孔，所述第二安装孔用于与第四连杆铰接，所述第四连杆通过第二垫片和第二螺栓安装在第二安装孔上。

进一步的，所述驱动气缸包括活塞杆、波纹管金属机械密封件、气缸筒、气缸顶盖、第一密封部和第二密封部，所述活塞杆通过波纹管金属机械密封件安装在气缸筒内，所述活塞杆可在气缸筒内做升降运动，所述气缸顶盖设置在气缸筒顶部，所述第一密封部安装在气缸顶盖上，所述第二密封部安装在气缸顶盖内，所述第一密封部和第二密封部用于对气缸顶盖进行密封，所述波纹管金属机械密封件用于对活塞杆在气缸筒内进行密封。

进一步的，所述活塞杆的下端分别与第三连杆和第一连杆的上端相铰接。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型的驱动气缸通过铰链结构连接阴极挡板，当需要打开阴极挡板时，驱动气缸驱动铰链结构下降，从而将阴极挡板打开，当需要闭合阴极挡板时，则驱动气缸驱动铰链结构上升，从而将阴极挡板关闭，本实用新型整体的驱动结构只需要设置一组即可实现对阴极挡板的开合而且阴极挡板的开合控制在有限的空间内，同时也保证阴极挡板的功能，还大大的节省了腔体空间，降低了设备的成本。

附图说明

图1是本实用新型的局部剖视图；

图2是本实用新型铰链结构和阴极挡板的局部剖视图；