[实用新型]力反馈致动器和微机电系统电容换能器

权利要求书

1.一种力反馈致动器，其特征在于，所述力反馈致动器包括：

一对电极，所述一对电极彼此间隔开以形成间隙；以及

介电构件，所述介电构件至少部分地设置在所述间隙内，所述介电构件包括具有第一介电常数的第一部分和具有第二介电常数的第二部分，所述介电构件和所述一对电极被构造成相对于彼此移动。

2.根据权利要求1所述的力反馈致动器，其特征在于，所述第二部分至少部分地设置在所述第一部分内。

3.根据权利要求1所述的力反馈致动器，其特征在于，所述介电构件的介电常数在与所述介电构件和所述一对电极之间相对移动的方向垂直的方向上变化，或沿着所述介电构件与所述一对电极之间相对移动的方向变化。

4.根据权利要求1所述的力反馈致动器，其特征在于，所述一对电极是被布置成梳状的多对电极中的一对电极，并且其中，所述介电构件是插设在所述多对电极中的所述一对电极之间的多个介电构件中的一个介电构件。

5.根据权利要求1所述的力反馈致动器，其特征在于，所述第一部分由氮化硅材料制成，并且其中，所述第二部分由多晶硅材料制成。

6.根据权利要求1所述的力反馈致动器，其特征在于，当在穿过所述一对电极和所述介电构件的横截面中观察时，所述第二部分在至少三面上被所述第一部分包围。

7.根据权利要求1所述的力反馈致动器，其特征在于，所述介电构件的高度在3μm至10μm之间的范围内。

8.根据权利要求1所述的力反馈致动器，其特征在于，所述介电构件的宽度在1μm至3μm之间的范围内。

9.根据权利要求1所述的力反馈致动器，其特征在于，所述第一部分的厚度在100nm至300nm之间的范围内。

10.根据权利要求1所述的力反馈致动器，其特征在于，所述第一部分与所述一对电极中的一个电极之间的间隙的宽度在100nm至300nm之间的范围内。

11.根据权利要求1所述的力反馈致动器，其特征在于，所述力反馈致动器形成微机电系统换能器的一部分。

12.一种微机电系统电容换能器，其特征在于，所述微机电系统电容换能器包括：

腔室；

第一电极，所述第一电极设置在所述腔室中；

第二电极，所述第二电极设置在所述腔室中并且与所述第一电极间隔开，所述第一电极与所述第二电极电隔离；

介电构件，所述介电构件设置在所述腔室中，根据所述介电构件与所述第一电极和所述第二电极之间的相对移动的程度，所述介电构件至少部分地位于所述第一电极与所述第二电极之间，

所述介电构件包括具有第一介电常数的第一部分和具有第二介电常数的第二部分。

13.根据权利要求12所述的微机电系统电容换能器，其特征在于，当在所述第一电极与所述第二电极之间施加电场时，与不具有介电常数不同的部分的介电构件相比，包括具有所述第一介电常数的所述第一部分和具有所述第二介电常数的所述第二部分的介电构件在该介电构件与所述第一电极和所述第二电极之间的更大的相对移动范围内提供相对恒定的恢复静电力。

14.根据权利要求12所述的微机电系统电容换能器，其特征在于，施加在所述第一电极与所述第二电极之间的电场提供恢复静电力，所述恢复静电力抵消由机械力引起的所述介电构件与所述第一电极和所述第二电极之间的相对移动。