[实用新型]一种垂直气孔结构的高纯氧化铝基板

权利要求书

1.一种垂直气孔结构的高纯氧化铝基板，其特征在于，包括一多孔骨架结构，所述多孔骨架结构包括多组相互固定堆积至一起的球形支架单元，每两组相邻的所述球形支架单元之间存在渗透空隙(13)。

2.根据权利要求1所述的一种垂直气孔结构的高纯氧化铝基板，其特征在于，多组所述球形支架单元包括一级支架单元(11)、二级支架单元(12)及三级支架单元(10)，所述一级支架单元(11)、二级支架单元(12)及三级支架单元(10)的球体直径依次减小。

3.根据权利要求2所述的一种垂直气孔结构的高纯氧化铝基板，其特征在于，所述一级支架单元(11)、二级支架单元(12)及三级支架单元(10)为球形氧化铝颗粒。

4.根据权利要求3所述的一种垂直气孔结构的高纯氧化铝基板，其特征在于，所述一级支架单元(11)的球体直径为40微米，所述二级支架单元(12)的球体直径为20微米，所述三级支架单元(10)的球体直径为10微米。

5.根据权利要求4所述的一种垂直气孔结构的高纯氧化铝基板，其特征在于，所述多孔骨架结构还包括烧结微粉颗粒。

6.根据权利要求5所述的一种垂直气孔结构的高纯氧化铝基板，其特征在于，所述烧结微粉颗粒为球形颗粒结构，所述烧结微粉颗粒的球体直径为0.5微米。

7.根据权利要求6所述的一种垂直气孔结构的高纯氧化铝基板，其特征在于，所述烧结微粉颗粒为阿尔法氧化铝微粉粒。

8.根据权利要求1所述的一种垂直气孔结构的高纯氧化铝基板，其特征在于，所述基板为板状结构，所述基板的表面平整度为误差为-0.05毫米至0.05毫米。

9.根据权利要求1所述的一种垂直气孔结构的高纯氧化铝基板，其特征在于，所述基板为板状结构，所述基板的边侧设有沿边沿伸展的切口(2)。

10.根据权利要求3所述的一种垂直气孔结构的高纯氧化铝基板，其特征在于，所述球形氧化铝颗粒通过等离子火焰法备制而成。