[实用新型]晶片加工用立式舟

说明书

晶片加工用立式舟。提供了一种结构简单，提高使用可靠性和适应性的晶片加工用立式舟。包括瓦片状舟体和支撑组件，所述支撑组件包括一对对称设置的舟头和一对平行设置的支撑棒，一对支撑棒连接在一对舟头之间，所述舟体连接在一对支撑棒上、且位于一对舟头之间；所述舟头包括立板一、立板二和一对平行设置的侧板，所述立板一平行于立板二，一对侧板连接在立板一和立板二之间，所述立板一和立板二之间形成推拉槽。本实用新型方便晶片排片放置，操作可靠，在需要进行不同规格的晶片排放时，通过挡板进行分隔，方便可靠。

技术领域

本实用新型涉及晶片加工领域，尤其涉及一种晶片加工用立式舟。

背景技术

目前生产过程中使用的舟，包含针对不同晶圆尺寸不同的舟，由于生产产品多样性及不同时段不同需求量，生产过程需配置多于正常使用的舟，不便于不同规格的产品搭配。这样，就需要增加生产成本，不便于生产管理，舟的通用性较差。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种结构简单，提高使用可靠性和适应性的晶片加工用立式舟。

本实用新型的技术方案为：包括瓦片状舟体和支撑组件，所述支撑组件包括一对对称设置的舟头和一对平行设置的支撑棒，一对支撑棒连接在一对舟头之间，所述舟体连接在一对支撑棒上、且位于一对舟头之间；

所述舟头包括立板一、立板二和一对平行设置的侧板，所述立板一平行于立板二，一对侧板连接在立板一和立板二之间，所述立板一和立板二之间形成推拉槽。

所述舟体上均布设有瓦片孔槽。

所述舟体固定连接在一对支撑棒上。

所述舟体的底部设有定位销，所述支撑棒上设有定位槽，所述定位销连接在定位槽内。

所述舟体的两侧均间隔设有定位槽，两侧定位槽内设有挡板，相邻挡板之间用于放置晶片。

所述立板一上设有插孔，所述支撑棒插接于插孔内。

本实用新型在工作中，通过设置瓦片状舟体和支撑组件，其中，支撑组件包括一对舟体和一对支撑棒，通过将舟体设在一对支撑棒上，再通过一对舟头进行两端限位，方便晶片排片放置，操作可靠。

在需要进行不同规格的晶片排放时，通过挡板进行分隔，方便可靠。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图，

图2是图1的俯视图，

图3是图1的左视图，

图4是本实用新型优化实施方式的结构示意图，

图中1是舟体，2是舟头，21是立板一，22是立板二，23是侧板，24是推拉槽，3是支撑棒，4是瓦片孔槽，5是挡板。

具体实施方式

本实用新型如图1-4所示，包括瓦片状舟体1和支撑组件，所述支撑组件包括一对对称设置的舟头2和一对平行设置的支撑棒3，一对支撑棒3连接在一对舟头2之间，所述舟体连接在一对支撑棒上、且位于一对舟头之间；

所述舟头2包括立板一21、立板二22和一对平行设置的侧板23，所述立板一平行于立板二，一对侧板连接在立板一和立板二之间，所述立板一和立板二之间形成推拉槽24。

本实用新型在工作中，通过设置瓦片状舟体和支撑组件，其中，支撑组件包括一对舟体和一对支撑棒，通过将舟体设在一对支撑棒上，再通过一对舟头进行两端限位，方便晶片排片放置，操作可靠。

在需要进行不同规格的晶片排放时，通过挡板进行分隔，方便可靠。设置推拉槽，便于借助工具对立式舟进行推拉动作。

所述舟体上均布设有瓦片孔槽4。