[实用新型]半导体清洗剂用Y型过滤器有效
| 申请号： | 202022682885.1 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN213885194U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 陈成勋;种光耀 | 申请（专利权）人： | 苏州柏越纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/35 | 分类号： | B01D29/35;B01D35/143 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 蒋慧妮 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 洗剂 过滤器 | ||
1.半导体清洗剂用Y型过滤器，包括过滤器本体，设置于过滤器内的滤芯，其特征在于：所述滤芯包括一均布有过滤孔的折叠式柔性波纹管，所述柔性波纹管的上端为与所述过滤器内部机械连接的上连接端，所述柔性波纹管的下端为与所述过滤器过滤出口端连接的下连接端。
2.如权利要求1所述的半导体清洗剂用Y型过滤器，其特征在于：所述上连接端表面设置有外螺纹，所述过滤器内壁开设有与所述外螺纹相匹配的内螺纹，所述柔性波纹管与所述过滤器内部螺纹连接。
3.如权利要求1所述的半导体清洗剂用Y型过滤器，其特征在于：所述柔性波纹管的上连接端上设置有一连接法兰，所述连接法兰与所述过滤器内壁之间通过螺栓连接。
4.如权利要求3所述的半导体清洗剂用Y型过滤器，其特征在于：所述连接法兰与所述过滤器内壁还设置有一垫片。
5.如权利要求1所述的半导体清洗剂用Y型过滤器，其特征在于：所述下连接端上设置有可拆卸的堵头，所述堵头与所述过滤器之间设置有密封垫圈。
6.如权利要求5所述的半导体清洗剂用Y型过滤器，其特征在于：所述堵头的一侧设置有一用于检测过滤器内部压力的压力检测仪。
7.如权利要求1所述的半导体清洗剂用Y型过滤器，其特征在于：所述过滤器的介质出口端设置有一传感器。
8.如权利要求7所述的半导体清洗剂用Y型过滤器，其特征在于：所述传感器与设置于过滤器外部的报警机构连接。
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