[实用新型]一种硅料泡料机有效
申请号: | 202022683496.0 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN215031714U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 吕磊 | 申请(专利权)人: | 华磊寰球工业装备(青岛)股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/04;B08B15/02 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 于晶晶 |
地址: | 266000 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅料泡料机 | ||
本实用新型公开一种硅料泡料机,其包括通风橱、设置在通风橱内用于硅料浸泡的浸酸槽、设置在通风橱外用于浸酸后硅料清洗的清洗槽、及用于存储硅料并完成硅料转运的料篮,所述清洗槽设置为两组,两组清洗槽并列设置,每组清洗槽设置有多个水槽,多个水槽间通过隔板进行分隔,该泡料机能防止挥发的酸性气体进行扩散,保证工作人员的健康,减少生产车间中设备的腐蚀,确保设备的运行稳定性,同时由于通过合理的配置浸酸槽与清洗槽的,实现整个泡料机清洗效率的最大化,同时由于设置有两组清洗槽,对硅料进行二次清洗,避免了硅料上酸性溶液的残留,实现高效快速的硅料清洗。
技术领域
本实用新型属于硅料清洗技术领域,具体地说涉及一种硅料泡料机。
背景技术
随着半导体行业和太阳能行业的不断发展壮大,硅料的需求量也越来越大,需要加工的硅原料也越来越多,在进行具体加工之前,大多需要对硅料进行清洗,清楚硅料表面的杂质。
由于硅料表面会形成一层氧化膜,因此需要对硅料使用挥发性酸性溶液进行清洗,硅料清洗过程中由于存在酸性溶液具有挥发性,对操作人员的身体健康有一定的损害,且如果任由酸性溶液挥发,其对生产车间的相关设备也会进行腐蚀,使得设备使用周期缩短,间接增加了生产成本。
因此,现有技术还有待于进一步发展和改进。
实用新型内容
针对现有技术的种种不足,为了解决上述问题,现提出一种硅料泡料机,该泡料机能收集挥发的酸性溶液,减少其对工作人员的危害。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种硅料泡料机,其包括通风橱、设置在通风橱内用于硅料浸泡的浸酸槽、设置在通风橱外用于浸酸后硅料清洗的清洗槽、及用于存储硅料并完成硅料转运的料篮,所述清洗槽设置为两组,两组清洗槽并列设置,每组清洗槽设置有多个水槽,多个水槽间通过隔板进行分隔。
优选的,所述通风橱包括橱体、设置在通风橱橱体后侧上部的排风装置、及设置在排风装置前用于放置浸酸槽的放置空间。
优选的,所述通风橱橱体设置为长方体半包围结构,橱体的左右两侧、顶部及后侧均设置有挡板,定测挡板上设置有用于排风装置进行排风的排风口。
优选的,所述浸酸槽包括浸酸槽本体及溢流板,通过溢流板将浸酸槽间隔为硅料浸泡部及酸液溢流部,所述溢流板高度小于浸酸槽深度。
优选的,所述料篮包括硅料储存部及料篮抓手,所述料篮抓手设置在料篮两侧,突出于硅料储存部,所述硅料储存部的四周及下端设置为镂空结构。
优选的,所述料篮硅料储存部储存硅料最大高度小于溢流板高度。
优选的,所述清洗槽还包括设置在清洗槽侧壁上的溢流孔、设置在清洗槽底部的出液孔,及设置在清洗槽外与出液孔及溢流孔连通的溢流管。
优选的,所述溢流管末端设置有用于排出清洗槽内液体的出水口,所述出水口上设置有用于控制出水口开闭的水阀。
优选的,所述隔板顶部设置为U型,U型隔板最低处高度低于溢流孔高度。
有益效果:
本实用新型提供一种硅料泡料机,该泡料机能防止挥发的酸性气体进行扩散,保证工作人员的健康,减少生产车间中设备的腐蚀,确保设备的运行稳定性,同时由于通过合理的配置浸酸槽与清洗槽的,实现整个泡料机清洗效率的最大化,同时由于设置有两组清洗槽,对硅料进行二次清洗,避免了硅料上酸性溶液的残留,实现高效快速的硅料清洗。
附图说明
图1是本实用新型具体实施例中一种硅料泡料机的结构示意图;
图2是本实用新型具体实施例中一种硅料泡料机清洗槽的后视图;
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