[实用新型]一种硅片清洗机热量回收装置有效
| 申请号： | 202022684052.9 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN214010055U | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 黎彬 | 申请（专利权）人： | 句容协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | F28D7/08 | 分类号： | F28D7/08;F28D9/00;F28F13/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张超 |
| 地址： | 212400 江苏省镇江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 热量 回收 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片清洗机热量回收装置，其特征在于：包括新液池，所述新液池的出水口通过管道与换热箱内的换热管一端连接，所述换热箱内的换热管另一端通过管道与板式换热器的冷端进口连接，所述板式换热器的冷端出口通过管道与硅片清洗机的注入口连接，所述硅片清洗机的排放口通过管道与板式换热器的热端进口连接，所述板式换热器的热端出口通过管道与换热箱的进水口连接，所述换热箱的出水口通过管道与废液池连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机热量回收装置，其特征在于：所述新液池与换热箱之间的管道上安装有水泵。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机热量回收装置，其特征在于：所述换热箱内的换热管呈S形设置。
4.根据权利要求2所述的一种硅片清洗机热量回收装置，其特征在于：所述新液池与水泵之间的管道上安装有第一阀门。
5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机热量回收装置，其特征在于：所述废液池的出水口处安装有第二阀门。
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