[实用新型]微纳光学元件参数测量装置及其固定机构和角度调节机构

说明书

本实用新型涉及光学测试设备技术领域，且公开了微纳光学元件参数测量装置及其固定机构和角度调节机构，测量装置包括安装座，所述安装座的顶端固定安装有角度调节装置，所述角度调节装置的顶端固定安装有安装滑轨，所述安装滑轨的顶端滑动安装有固定座，所述固定座的顶端固定安装有固定装置，所述固定座的一侧固定连接有伸缩气缸的伸出端，所述伸缩气缸与角度调节装置固定连接，所述安装板的顶端两侧均固定安装有电动推杆，通过设置固定装置以及角度调节装置，使得能够对微纳光学元件的位置与角度进行精准调节，从而保证不同情况下光学参数的测量要求，以此测量出不同的光学参数，具备测量范围大等优点，解决了现有的测量范围小的问题。

技术领域

本实用新型涉及光学测试设备技术领域，具体为微纳光学元件参数测量装置及其固定机构和角度调节机构。

背景技术

纳米光学是纳米科学和纳米技术的新方向，它使用的光限定在空间尺寸a《lambda( lambda为波长) 或体积V《lambda^3 内。它应用激光与原子、分子、团簇和纳米结构的线性或非线性、经典或量子相互作用的新的或改型的已知效应。这一领域的实际发展以激光和可见光局限在极小尺寸的亚微米结构(纳米孔、纳米缝、纳米针等)的纳米技术为基础。

纳米光学元件在进行光学参数的测量时，需要用到微纳光学元件光学参数测量装置，而现有的大部分微纳光学元件光学参数测量装置在进行测量时并不能模拟各种情况下的测量条件，导致测量范围较小，具有一定的局限性，因此我们提出微纳光学元件参数测量装置及其固定机构和角度调节机构，用于解决上述技术问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了微纳光学元件参数测量装置及其固定机构和角度调节机构，具备测量范围大等优点，解决了现有的测量范围小的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：微纳光学元件参数测量装置，包括安装座，所述安装座的顶端固定安装有角度调节装置，所述角度调节装置的顶端固定安装有安装滑轨，所述安装滑轨的顶端滑动安装有固定座，所述固定座的顶端固定安装有固定装置，所述固定座的一侧固定连接有伸缩气缸的伸出端，所述伸缩气缸与角度调节装置固定连接，所述安装板的顶端两侧均固定安装有电动推杆，所述电动推杆的伸出端固定连接有测试板。

所述固定装置包括固定板，所述固定板的一侧两端均固定安装有同步柱，所述同步柱的另一端固定连接有安装板，所述同步柱的外表面套接有限位板，所述安装板靠近限位板的一侧固定安装有步进电机，所述步进电机的输出轴固定连接有同步齿轮，所述同步齿轮的底端啮合连接有同步齿条，所述同步齿条的一端与限位板固定连接。

所述角度调节装置包括调节板，所述调节板的一侧固定连接有伺服电机的输出轴，所述调节板的底端两侧均固定连接有稳定半环，所述稳定半环的另一端外表面套接有稳定环套，所述稳定环套与安装座固定连接。

优选的，所述同步齿条上套接有稳定套，所述稳定套与安装座固定连接。

稳定套用于保证同步齿条在移动时的稳定性，同时也对同步齿条起到了一定的限制作用。

优选的，所述稳定半环的外表面设置有角度刻度，所述稳定环套与稳定半环接触处开设有相适配的套孔，所述稳定环套通过套孔与稳定半环套接。

角度刻度方便工作人员对检测的角度进行观察，从而对不同情况下的光学参数进行测量。

优选的，所述固定座的底端与安装滑轨接触处开设有相适配的滑槽，且所述固定座通过滑槽与安装滑轨滑动连接。

微纳光学元件参数测量装置的固定机构，包括固定板，所述固定板的一侧两端均固定安装有同步柱，所述同步柱的另一端固定连接有安装板，所述同步柱的外表面套接有限位板，所述安装板靠近限位板的一侧固定安装有步进电机，所述步进电机的输出轴固定连接有同步齿轮，所述同步齿轮的底端啮合连接有同步齿条，所述同步齿条的一端与限位板固定连接，所述同步齿条上套接有稳定套，所述稳定套与安装座固定连接。