[实用新型]一种高效氯硅烷过滤器

权利要求书

1.一种高效氯硅烷过滤器，包括罐体(12)和通过快拆法兰连接在所述罐体(12)上的罐盖(9)，所述罐体(12)底部设有物料出口(4)，所述罐体(12)侧壁上方设有物料进口(3)；

其特征在于：所述物料进口(3)下方的所述罐体(12)内侧壁上固定安装有环形支撑板(11)，所述环形支撑板(11)上方套装有向上开口的支撑网(10)，所述支撑网(10)上方套装有向上开口的滤袋(8)，所述滤袋(8)上方设有环形压片(7)，所述环形压片(7)、滤袋(8)、支撑网(10)和环形支撑板(11)通过若干个螺栓(6)锁紧连接。

2.根据权利要求1所述一种高效氯硅烷过滤器，其特征在于：所述滤袋(8)为聚四氟乙烯材质的滤袋，所述滤袋(8)的精度为0.1-0.5um。

3.根据权利要求1所述一种高效氯硅烷过滤器，其特征在于：所述支撑网(10)为不锈钢材质的支撑网，所述支撑网(10)的大小与所述滤袋(8)的大小相同，所述支撑网(10)孔径大于所述滤袋(8)孔径。

4.根据权利要求1所述一种高效氯硅烷过滤器，其特征在于：所述罐盖(9)顶部设有氮气接口(2)和压力表接口(1)。

5.根据权利要求1所述一种高效氯硅烷过滤器，其特征在于：所述罐体(12)底部设有排净口(5)。

6.根据权利要求1所述一种高效氯硅烷过滤器，其特征在于：所述环形支撑板(11)为不锈钢材质支撑板，与所述罐体(12)的内侧壁焊接连接。

7.根据权利要求1所述一种高效氯硅烷过滤器，其特征在于：所述环形压片(7)为不锈钢材质压片。