[实用新型]蒸镀机的多重漏气检测管有效

专利信息
申请号: 202022693597.6 申请日: 2020-11-18
公开(公告)号: CN213364163U 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 崔刚赫 申请(专利权)人: 乐金显示光电科技(中国)有限公司
主分类号: G01M3/20 分类号: G01M3/20
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 510530 广东省广州市广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 蒸镀机 多重 漏气 检测
【说明书】:

实用新型公开了一种蒸镀机的多重漏气检测管,该多重漏气检测管包括本体和多个连接管,本体的一端与气体检测器相连,另一端与多个连接管的一端相连,连接管的另一端与检测腔连通,本体与气体检测器之间为密封连接,连接管与检测腔之间为密封连接。该多重漏气检测管采用多个连接管与多个检测腔一一对应连接,避免了检测过程中频繁地安装及拆卸连接管,方便了多重漏气检测管的使用,提升了气密性检测的检测效率。由于连接管与检测腔为密封连接,本体与气体检测器为密封连接,保证了多重漏气检测管与检测腔及气体检测器的连接密封性,提升了气密性检测的准确度。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备技术领域,尤其涉及一种蒸镀机的多种漏气检测管。

背景技术

在蒸镀机的工作过程中,进行蒸镀的腔室的密封性是非常重要的,如果腔室出现漏气现象则会影响到蒸镀工艺的正常进行。因此,需要定期对蒸镀的腔室进行气密性检查。目前最常用的检测方式就是在腔室的检测口连接一根检测管,检测管的另一端连接气体检测器。安装完毕后,采用气枪朝向待检测地腔室喷射氦气,如果气体检测器检测到氦气则说明待检测的腔室存在漏气现象。当腔室有多个时,需要不断将检测管从一个检测腔上拆下,然后安装到另一个检测腔上,不仅使用不便还会降低检测效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于:提供一种蒸镀机的多重漏气检测管,该多重漏气检测管使用较为方便,且能够提升检测效率。

为达上述目的,本实用新型采用以下技术方案:

提供一种蒸镀机的多重漏气检测管,包括本体和多个连接管,所述本体的一端与气体检测器相连,另一端与多个所述连接管的一端相连,所述连接管的另一端与检测腔连通;其中,所述本体与所述气体检测器之间为密封连接,所述连接管与所述检测腔之间为密封连接。

作为蒸镀机的多重漏气检测管的一种优选方案,所述本体和多个所述连接管为一体件。

作为蒸镀机的多重漏气检测管的一种优选方案,所述本体和多个所述连接管均为柔性波纹管。

作为蒸镀机的多重漏气检测管的一种优选方案,所述本体与所述气体检测器相连的一端设有第一密封槽,所述第一密封槽用于安装第一密封圈。

作为蒸镀机的多重漏气检测管的一种优选方案,所述第一密封圈包括O型密封圈、V型密封圈或者U型密封圈的任何一种。

作为蒸镀机的多重漏气检测管的一种优选方案,所述连接管与所述检测腔相连的一端设有第二密封槽,所述第二密封槽用于安装第二密封圈。

作为蒸镀机的多重漏气检测管的一种优选方案,所述第二密封圈包括O型密封圈、V型密封圈或者U型密封圈的任何一种。

作为蒸镀机的多重漏气检测管的一种优选方案,所述本体与所述气体检测器相连的一端设有第一密封螺纹;所述蒸镀机的多重漏气检测管还包括第一密封螺母,所述第一密封螺母配合在所述第一密封螺纹上,且所述第一密封螺母止抵在所述气体检测器上。

作为蒸镀机的多重漏气检测管的一种优选方案,所述连接管与所述检测腔相连的一端设有第二密封螺纹;

作为蒸镀机的多重漏气检测管的一种优选方案,所述第二密封螺母配合在所述第二密封螺纹上,且所述第二密封螺母止抵在所述检测腔的外侧壁上。

本实用新型的有益效果为:本实用新型公开的蒸镀机的多重漏气检测管采用多个连接管与多个检测腔一一对应连接,避免了检测过程中频繁地安装及拆卸连接管,方便了多重漏气检测管的使用,提升了气密性检测的检测效率。由于连接管与检测腔为密封连接,本体与气体检测器为密封连接,保证了多重漏气检测管与检测腔及气体检测器的连接密封性,提升了气密性检测的准确度。

附图说明

图1是本实用新型实施例的蒸镀机的多重漏气检测管的使用状态示意图。

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